[发明专利]磨石座、拆卸夹具、磨床及磨石座的拆卸方法

说明书

技术领域

本发明涉及磨石座、拆卸夹具、磨床及磨石座的拆卸方法。

背景技术

目前，作为对半导体晶片(以下称作“工件”)进行磨削的方法之一，广泛公知的是通过使工件和磨石座两者均旋转，并利用磨石连续地切削工件的磨削面的横向磨削法(例如参照专利文献1)。需要说明的是，磨石座由台座和磨石构成。台座具有与工件相对的第一面和设于第一面的相反侧的第二面，磨石在台座的第一面上环状地形成。

专利文献1：(日本)特开2007-125678号公报

在专利文献1所记载的磨床中，磨石座通过固定螺栓固定在以规定轴为中心旋转的安装部的安装面上。在这种磨床中，以提高工件的磨削精度为目的，安装部的安装面和台座的第二面各自的表面粗糙度极低。因此，磨石座和安装部彼此密接，所以在更换磨石座时，需要在拆下固定螺栓后将磨石座从安装部分开。

因此，考虑到如下方法：将比固定螺栓长的螺栓拧入形成于磨石座的固定螺栓用螺栓孔，由长的螺栓的前端按压安装面，由此从安装部将磨石座分开。但是，在该方法中，因长的螺栓的前端的按压而在安装面上形成凹凸，因此难以维持磨石座和安装部的密接性。因此，该方法不适合用于上述专利文献1记载的磨床上。

另一方面，在感应加热辊装置中提出了如下方法：在从辊壳拆下通过固定螺栓固定于辊壳上的轴颈的情况下，代替固定螺栓利用拧入轴颈的按压螺栓将辊壳从轴颈压出(日本特开2001-210449号公报)。但是，在该方法中，在使固定螺栓的轴部插入的插孔的内周面，形成有与按压螺栓的外螺纹部啮合的内螺纹部，因此，形成于插孔的内周面的内螺纹部可能因与固定螺栓的轴部的干涉而受损。所以，该方法也不适合用于上述专利文献1中记载的磨床上。

发明内容

本发明是鉴于上述状况而提出的，其目的在于，提供可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床、用于从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。

第一方面提供的一种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，包括：台座，其具有第一面、设于第一面的相反侧的第二面和从第一面贯通至第二面的贯通孔；磨石，其在台座的第一面上形成为环状。贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在第一面开口且具有第一内径，该插孔与沉孔相连且具有比第一内径小的第二内径。沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。

第二方面的磨石座在第一方面的磨石座的基础上，包括分别具有与贯通孔相同构成的多个贯通孔。多个贯通孔配置为在第一面的俯视图中以台座的旋转中心为基准呈点对称。

第三方面提供的一种夹具，其用于从安装部拆下通过固定螺栓固定在安装部上的磨石座，具有支撑部件和凸台部件。支撑部件包括：具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比为了使固定螺栓的轴部插入而设于磨石座的插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部。凸台部件包括：具有与形成在沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔，该沉孔为了收容固定螺栓的头部而设于磨石座。

第四方面提供的一种磨床，具有磨石座和安装部。磨石座具有台座和在台座的第一面上形成为环状的磨石，该台座包括第一面、设于第一面的相反侧的第二面、从第一面贯通至第二面的贯通孔。安装部具有与第二面抵接的安装面和在第二面开口且与贯通孔相连的螺孔。贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在第一面开口且具有第一内径，该插孔与沉孔相连且具有比第一内径小的第二内径。沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。

第五方面的磨床还具备夹具，该夹具具有支撑部件和凸台部件。支撑部件包括：具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部。凸台部件包括：具有与沉孔的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔。

第六方面提供的一种拆卸方法，用于从安装部拆下通过固定螺栓固定于安装部的磨石座，包括：拔出固定螺栓的工序，该固定螺栓插入设于磨石座的插孔并且拧入安装部的螺孔；准备支撑部件的工序，该支撑部件包括：具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部；在使支撑轴部插入磨石座的插孔后，向安装部的螺孔拧入支撑轴部的工序；准备凸台部件的工序，该凸台部件包括：具有与形成在设于磨石座的沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部，和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔；向凸台部件的轴孔插入支撑部件的轴部的工序；向沉孔的内螺纹部拧入凸台轴部的外螺纹部的工序。