[发明专利]石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器及其制作方法

权利要求书

1.石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器，其特征在于：它具有陶瓷基体⑴，在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极⑵，在叉指金电极上连接有引线⑷，在陶瓷基体和叉指金电极表面涂覆有气敏薄膜⑶，该气敏薄膜（3）为石墨烯和二氧化锡的纳米复合物。

2.制作权利要求1所述的石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器的方法，其特征在于包括以下步骤：

（1）清洗表面光刻和蒸发有叉指金电极的陶瓷基片，烘干备用；

（2）配制浓度为0.01 mg/mL~5 mg/mL氧化石墨烯水溶液，然后加入二水合二氯化锡和脲，氧化石墨烯水溶液、二水合二氯化锡和脲的重量比为1：0.00225~0.1125：0.005~0.05，搅拌及超声波振荡使充分混合，制得前驱体溶液，将前驱体溶液加入水热釜中在80~120℃下反应1~12小时，制得石墨烯/二氧化锡纳米复合物溶液；

（3）将步骤（2）制备的石墨烯/二氧化锡纳米复合物溶液滴涂在步骤（1）的具有陶瓷基底的叉指金电极表面，在80～140℃下热处理0.5～3小时，制得石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器。