[发明专利]一种三轴微机械陀螺仪

权利要求书

1.一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：包括基板(1)和固定安装在基板(1)上的陀螺仪主体(2)，其中陀螺仪主体(2)包括平面检测单元和z轴检测单元，所述平面检测单元包括第一支撑梁(3)、联动梁(4)、驱动电极(13)和第一质量块(5)，其中第一质量块(5)包括两个沿y轴分布的x轴检测质量块(x1、x2)和两个沿x轴分布的y轴检测质量块(y1、y2)，且所述四个质量块以基板(1)中心点对称分布，联动梁(4)与支撑梁(3)均为四个，均依次将x轴检测质量块(x1)、y轴检测质量块(y1)、x轴检测质量块(x2)和y轴检测质量块(y2)连接，驱动电极(13)为四个，分别与四个第一质量块(5)连接，此外基板(1)上对应第一质量块(5)的位置制作金属层，形成平面检测下电极(10)；z轴检测单元由八个模块组成，其中四个模块(a、b、c、d)沿y轴在x轴检测质量块(x1、x2)两侧分布，剩余四个模块(e、f、g、h)沿x轴在y轴检测质量块(y1、y2)两侧分布，每个模块包括第二支撑梁(6)、解耦梁(7)、驱动梁(8)、第二质量块(9)和检测电极(11)，其中驱动梁(8)一端连接第一质量块(5)，另一端连接第二质量块(9)，解耦梁(7)分别连接第二质量块(9)和检测电极(11)，第二支撑梁(6)连接检测电极(11)。

2.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述第一支撑梁(3)包括内支撑梁(3b)和外支撑梁(3a)，其中内支撑梁(3b)两端分别连接相邻的x轴检测质量块和y轴检测质量块的内端，外支撑梁(3a)两端分别连接相邻的x轴检测质量块和y轴检测质量块的外端。

3.根据权利要求2所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述内支撑梁(3b)和外支撑梁(3a)的拐角处焊接在基板(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述驱动电极(13)包括固定电极(13a)和可动电极(13b)，固定电极(13a)固置在基板(1)上，可动电极(13b)与第一质量块(5)连接。

5.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述检测电极(11)包括检测固定电极(11b)和检测活动电极(11a)，检测固定电极(11b)固置在基板(1)上，检测活动电极(11a)连接第二支撑梁(6)和解耦梁(7)。

6.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述驱动梁(8)为z字型梁或H型梁。

7.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述第一质量块(5)和第二质量块(9)上布置有孔(12)。