[发明专利]一种硅烷中杂质的去除方法及用于该方法的设备

权利要求书

1.一种硅烷中杂质的去除方法，其特征在于，该方法为将硅烷通入热分解管中进行热分解后去除固体杂质；所述热分解的温度为200-500℃，所述热分解管的长度为0.5-3m，硅烷的流量为0.1-5L/min。

2.根据权利要求1所述的硅烷中杂质的去除方法，其特征在于，在热分解之前在预热器中对待除杂的硅烷进行预热。

3.根据权利要求1所述的硅烷中杂质的去除方法，其特征在于，对去除固体杂质的硅烷进行过滤。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的硅烷中杂质的去除方法，其特征在于，在将硅烷进行处理前，去除整个设备中的空气。

5.根据权利要求1所述的硅烷中杂质的去除方法，其特征在于，去除整个设备中的空气的方法为先向该设备中通入氮气，然后抽真空；所述通入氮气的流量为1-5L/min，时间为1-3小时，所述抽真空后系统绝压为1-10Pa。

6.一种用于权利要求1所述的方法的设备，其特征在于，该设备包括热分解管和与热分解管一端连通的粉尘收集器。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备还包括用于盛放高温导热油的反应容器、搅拌器及温控加热器；所述搅拌器位于反应容器内且对高温导热油进行搅拌，所述温控加热器位于反应容器内且对高温导热油进行温度控制，所述热分解管位于高温导热油中，所述粉尘收集器位于反应容器的外部。

8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备还包括预热器，所述预热器与热分解管的另一端连通。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述设备还包括置于预热器之前的流量计。

10.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备在粉尘收集器之后还设置有过滤器，所述过滤器与粉尘收集器连通。