[发明专利]光声影像装置

权利要求书

1.一种光声影像装置，其特征在于，用以侦测待测物的光声影像，所述光声影像装置包括：

激光探头，用以发出激光光束；以及

透光式超音波传感器，配置于所述激光探头上，其中所述激光探头所发出的所述激光光束穿透所述透光式超音波传感器而传递至所述待测物。

2.如权利要求1所述的光声影像装置，其特征在于，所述待测物受到所述激光光束照射后，会产生超音波，所述透光式超音波传感器用以侦测所述超音波，且所述激光探头沿着所述透光式超音波传感器的传感范围发出所述激光光束。

3.如权利要求1所述的光声影像装置，其特征在于，所述激光光束的波长落在10纳米至2400纳米的范围内。

4.如权利要求1所述的光声影像装置，其特征在于，所述激光探头包括出光开口，所述激光光束经由所述出光开口传递至所述透光式超音波传感器，所述透光式超音波传感器配置于所述出光开口上，且所述透光式超音波传感器的形状与所述出光开口的形状相符合。

5.如权利要求4所述的光声影像装置，其特征在于，所述出光开口为线形开口、环状开口或阵列状开口。

6.如权利要求4所述的光声影像装置，其特征在于，所述透光式超音波传感器包括多个透光式超音波传感单元，且所述多个透光式超音波传感单元排列成线状、环状或阵列状。

7.如权利要求1所述的光声影像装置，其特征在于，所述透光式超音波传感器对于所述激光光束的透光率大于60％。

8.如权利要求1所述的光声影像装置，其特征在于，更包括：

激光产生器，用以提供所述激光光束；以及

光纤束，连接所述激光产生器与所述激光探头，以将来自激光产生器的所述激光光束传递至所述激光探头。

9.如权利要求1所述的光声影像装置，其特征在于，所述透光式超音波传感器包括多个透光式超音波传感单元，每一所述透光式超音波传感单元包括：

透光基板；

第一透光电极，配置于所述透光基板上；

透光绝缘层，配置于所述第一透光电极上；

图案化透光支撑结构，配置于所述透光绝缘层上；

透光薄膜，配置于所述图案化透光支撑结构上，其中所述透光绝缘层、所述图案化透光支撑结构及所述透光薄膜之间形成至少一空腔；以及

第二透光电极，配置于所述透光薄膜上。

10.如权利要求9所述的光声影像装置，其特征在于，所述透光基板配置于所述激光探头与所述第一透光电极之间。

11.如权利要求9所述的光声影像装置，其特征在于，所述透光薄膜与所述图案化透光支撑结构适于让波长从10纳米至2400纳米的光穿透。

12.如权利要求9所述的光声影像装置，其特征在于，所述透光薄膜与所述图案化透光支撑结构的材质包括高分子材料、硅、石英、氮化硅、三氧化二铝及单晶材料的至少其中之一。

13.如权利要求9所述的光声影像装置，其特征在于，所述第一透光电极与所述第二透光电极的材料包括氧化铟锡及氧化铟锌的至少其中之一。

14.如权利要求9所述的光声影像装置，其特征在于，所述透光基板为玻璃基板或高分子基软性基板。

15.如权利要求1所述的光声影像装置，其特征在于，所述激光光束为脉冲式激光光束。