[发明专利]超大尺度光学平台隔振性能一致性检测装置与检测方法

权利要求书

1.一种超大尺度光学平台隔振性能一致性检测装置，其特征在于：在光学平台(11)上中心线左端设置支架(2)、右端设置有显示屏(10)，支架(2)上的左侧设置有激光器(4)，激光器(4)的波长为632.8nm，激光器(4)上设置有通过导线与计算机(1)相连的CCD摄像头(3)，激光器(4)的右侧沿光学平台(11)长度方向中心线光出射方向支架(2)上设置有分束器(5)，光学平台(11)上分束器(5)的激光射出方向上至少设置有6个偶数的左反射镜，左反射镜的光反射方向光学平台(11)上设置有与左反射镜个数相同的内装有水的水槽，每个水槽的左侧壁中心线上端左反射镜的反射光方向上设置有光阑(7)，每个水槽内水表面反射光方向的光学平台(11)上设置有与左反射镜个数相同的右反射镜，6个右反射镜反射光方向的光学平台(11)中心线的右端设置有显示屏(10)。

2.按照权利要求1所述的超大尺度光学平台隔振性能一致性检测装置，其特征在于：所述的水槽对称地排列在光学平台(11)宽度方向中心线的前后两侧。

3.按照权利要求1或2所述的超大尺度光学平台隔振性能一致性检测装置，其特征在于：所述的水槽为几何形状相同的长方形水槽，每个水槽内的水面高度相同。

4.按照权利要求1所述的超大尺度光学平台隔振性能一致性检测装置，其特征在于：所述的光阑(7)的孔径为2.3mm。

5.一种使用权利要求1超大尺度光学平台隔振性能一致性检测装置的检测方法，其特征在于它是由下述步骤组成：

A.在至少6个偶数的水槽内分别注入蒸馏水，蒸馏水的水位高度均为80mm；

B.分别调整与水槽个数相同的左反射镜的角度至反射光束分别通过每一个水槽上的光阑(7)，使反射光束分别与各个水槽长度方向的侧壁平行，使每个左反射镜的反射光束分别在每个水槽水面上的入射点位于水槽对角线相交的中心位置，每束反射光束与所入射水槽内水面的入射角为88.5°：

C.在光学平台(1)1台面中心线在地面上垂直投影线右方的延长线上，距投影线右端50cm处，用质量为500g的带圆锥体橡胶头的重锤，由10cm高处自由落下单击地面，地面振动引起光学平台(11)上表面振动，每个水槽内水表面形成水表面波，水表面波对入射激光束产生调制反射，经各个水槽内水表面波调制分别反射到所对应的各个右反射镜，经各个右反射镜反射到显示屏(10)上，在显示屏(10)上呈现出各自对应的干涉条纹；

用CCD摄像头(3)连续采集显示屏(10)上的干涉条纹，并转换成数字信号输出到计算机(1)，选择连续采集的各列干涉条纹中各自条纹个数最多一列干涉条纹，并分别对选择的干涉条纹个数N计数，计算机(1)按

A₀＝0.944(N-1)-5.5

计算每个水槽所处位置光学平台(11)受激振幅A₀，单位为μm，N为各个水槽内水的表面波对入射激光束产生调制反射，在显示屏(10)上对应呈现的条纹个数最多的一列干涉条纹的个数；比较各个水槽所处位置光学平台(11)受激振动振幅大小的差异，判断光学平台(11)的隔振性能是否一致。