[发明专利]一种用于晶圆传送位置校正的装置及方法

权利要求书

1.一种用于晶圆传送位置校正的装置，在对加热器（20）进行维护保养的过程中，用于对机械手臂传送晶圆（30）时发生的偏差位置进行确定，其特征在于，

该校正装置（10）是套设在加热器（20）顶面上的一个圆环状的盖子，所述校正装置（10）具有的一个环形顶面，与位于其下方的加热器（20）的顶面同圆心布置；

至少使所述校正装置（10）中的环形顶面用防滑材料制成，并且，所述环形顶面的内径L1小于晶圆（30）的直径，使得所述晶圆（30）被传送到该校正装置（10）的环形顶面上以后不会进一步滑动。

2.如权利要求1所述用于晶圆传送位置校正的装置，其特征在于，

所述校正装置（10）用特氟龙材料制成。

3.如权利要求2所述用于晶圆传送位置校正的装置，其特征在于，

所述校正装置（10）的环形顶面具有同圆心的内侧边缘线（11）和外侧边缘线（13），并且，在所述内侧边缘线（11）以内的区域限定了所述环形顶面的一个中心开口；

所述环形顶面上中心开口的口径，也就是所述环形顶面的内径L1，小于所述加热器（20）顶面的直径L2。

4.如权利要求3所述用于晶圆传送位置校正的装置，其特征在于，

所述校正装置（10）上环形顶面的外径，大于加热器（20）顶面的直径L2；

以所述环形顶面的圆心为圆心，在所述校正装置（10）的环形顶面上设有至少一条定位线，所述定位线位于所述内侧边缘线（11）和外侧边缘线（13）之间。

5.如权利要求4所述用于晶圆传送位置校正的装置，其特征在于，

所述校正装置（10）的环形顶面上具有一条直径为L2的定位线（12），使这条定位线（12）与所述加热器（20）顶面的边缘位置（21）相对应；将直径为L2的晶圆（30）传送到所述校正装置（10）后，通过检测所述晶圆（30）与这条定位线（12）的位置关系，能够对应地获知所述晶圆（30）相对于所述加热器（20）顶面的边缘位置（21）的偏离关系。

6.如权利要求2中任意一项所述用于晶圆传送位置校正的装置，其特征在于，

所述加热器（20）顶面上分布设置有若干个升降元件（40）；

对所述校正装置（10）的高度及环形顶面的内径L1的设定，应当使所述环形顶面的内径L1足够大，以使所述升降元件（40）能够从所述校正装置（10）的环形顶面的中心开口中暴露出来，并通过所述升降装置将晶圆（30）抬升到一个高出校正装置（10）的高度，方便机械手臂对晶圆（30）进行取放。

7.一种用于晶圆传送位置校正的方法，是通过使用如权利要求1所述的校正装置（10），在对加热器（20）的维护保养过程中，对机械手臂传送晶圆（30）时的偏离位置进行确定，并对机械手臂进行校正的方法，其特征在于，

所述校正方法，包含以下步骤：

步骤1、将校正装置（10）套设在加热器（20）上，使得所述校正装置（10）的环形顶面上设置的一个定位线（12），与所述加热器（20）顶面的边缘位置（21）相对应；

步骤2、使用机械手臂将晶圆（30）传送到校正装置（10）上，检测晶圆（30）与所述定位线（12）之间的位置关系；所述晶圆（30）的直径，等于所述加热器（20）顶面的直径L2，并且大于所述校正装置（10）的环形顶面的内径L1；

步骤2.1、若晶圆（30）正好落入到校正位置上由所述定位线（12）所限定的区域内，则判断晶圆（30）传送没有偏差；此时，跳转到步骤4；

步骤2.2、若晶圆（30）上任意一侧的边缘遮挡住所述定位线（12）的一部分，则判断晶圆（30）传送发生了偏差，则继续进行步骤3；

步骤3、当晶圆（30）传送发生了偏差时，技术人员通过检测晶圆（30）相对所述定位线（12）的偏离位置，对机械手臂进行相应地校正；

之后，重复进行步骤2~步骤3的操作，即进行若干次的晶圆（30）传送测试及对机械手臂的对应校正，直到晶圆（30）传送没有偏差时，进行步骤4；

步骤4、完成对晶圆（30）传送位置的校正，从加热器（20）上取下所述校正装置（10）。