[发明专利]一种电容耦合等离子反应器及其控制方法在审
申请号: | 201210081236.3 | 申请日: | 2012-03-23 |
公开(公告)号: | CN103327723A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 凯文·佩尔斯 | 申请(专利权)人: | 中微半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电容 耦合 等离子 反应器 及其 控制 方法 | ||
1.一种电容耦合等离子反应器,包括位于反应器底部的一个基座,基座内包括一个下电极,与下电极相对位于反应器顶部的一个上电极,一个高频射频电源连接到所述下电极并提供第一高频射频功率;所述高频射频电源连接到上电极并提供第二高频射频功率;一个低频射频电源连接到所述下电极并提供低频射频功率;其特征在于:
所述电容耦合等离子反应器还包括一个移相控制器,连接在高频射频电源和所述上电极或下电极之间,使所述第一高频射频功率和第二高频射频功率之间的相位差连续变化。
2.根据权利要求1所述的电容耦合等离子反应器,其特征在于,所述第一高频射频功率和第二高频射频功率之间的相位差在大于10度的范围内连续变化。
3.根据权利要求2所述的电容耦合等离子反应器,其特征在于,所述第一高频射频功率和第二高频射频功率之间的相位差在大于30度的范围内连续变化。
4.根据权利要求3所述的电容耦合等离子反应器,其特征在于,所述相位差变化范围为120-180度。
5.根据权利要求1所述的电容耦合等离子反应器,其特征在于,所述相位差在多个互相不重叠的区间内连续变化。
6.根据权利要求1所述的电容耦合等离子反应器,其特征在于,所述第一高频射频功率和第二高频射频功率之间的相位差在多个不同相位差值间连续切换。
7.根据权利要求1中电容耦合等离子反应器,其特征在于,所述高频射频电源提供的第一高频射频功率和第二高频射频功率具有的频率大于等于13.56Mhz小于120Mhz,低频射频电源提供的低频射频功率具有小于等于2Mhz的频率。
8.一种电容耦合等离子反应器控制方法,所述电容耦合等离子反应 器包括位于反应器底部的一个基座,基座内包括一个下电极,与下电极相对位于反应器顶部的一个上电极,所述控制方法包括:
施加第一高频射频功率到下电极;
施加第二高频射频功率到上电极;
施加一个低频射频功率到下电极;
其中第一高频射频功率和第二高频射频功率具有相同频率,调节所述第一高频射频功率和第二高频射频功率的相位差,使第一高频射频功率和第二高频射频功率的相位差连续变化。
9.根据权利要求8中电容耦合等离子反应器控制方法,其特征在于,所述高频射频电源提供的第一高频射频功率和第二高频射频功率具有的频率大于等于13.56Mhz小于120Mhz,低频射频电源提供的低频射频功率具有小于等于2Mhz的频率。
10.根据权利要求8中电容耦合等离子反应器控制方法,其特征在于,所述高频射频电源提供的第一高频射频功率和第二高频射频功率的相位差在大于10度的范围内连续变化。
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