[发明专利]温度测量装置和温度测量方法

权利要求书

1.一种温度测量装置，其特征在于，

该温度测量装置包括：

光源；

第1光分离部件，其用于将来自上述光源的光分成多个测量用的光；

多个第2光分离部件，其用于将来自上述第1光分离部件的多个测量用的光分别分成测量光和参照光；

与上述第2光分离部件数量相等的第3光分离部件，其用于将来自上述第2光分离部件的各个测量光进一步分成n个测量光即第1测量光～第n测量光；

参照光反射部件，其用于将来自上述多个第2光分离部件的参照光分别反射；

光路长度变化部件，其用于使从上述参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化；

与上述第2光分离部件数量相等的参照光传送部件，其用于将来自上述第2光分离部件的各个参照光传送到向上述参照光反射部件照射的位置；

第1测量光传送部件～第n测量光传送部件，其用于将来自上述第3光分离部件的上述第1测量光～第n测量光分别传送到向温度测量对象物的各测量点照射的测量光照射位置；

与上述第2光分离部件数量相等的光检测器，其用于对从上述温度测量对象物反射的上述第1测量光～第n测量光与从上述参照光反射部件反射的多个参照光之间的干涉进行测量，

使上述第1测量光～第n测量光的从上述第3光分离部件到上述温度测量对象物的各个光路长度互不相同，

并且利用一个上述光路长度变化部件使从上述参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化。

2.根据权利要求1所述的温度测量装置，其特征在于，

由一个平面镜构成上述参照光反射部件。

3.根据权利要求1或2所述的温度测量装置，其特征在于，

上述第1光分离部件将来自上述光源的光分成不同波长范围的多个上述测量用的光。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的温度测量装置，其特征在于，

该温度测量装置具有用于从来自上述光检测器的输出信号提取交流成分的交流成分提取部件。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的温度测量装置，其特征在于，

该温度测量装置具有光衰减单元，该光衰减单元用于使从上述参照光反射部件反射的参照光的强度衰减成接近从上述温度测量对象物反射的上述第1测量光～第n测量光的强度。

6.一种温度测量方法，其特征在于，

该温度测量方法使用温度测量装置来测量温度测量对象物的温度的温度测量方法，该温度测量装置包括：

光源；

第1光分离部件，其用于将来自上述光源的光分成多个测量用的光；

多个第2光分离部件，其用于将来自上述第1光分离部件的多个测量用的光分别分成测量光和参照光；

与上述第2光分离部件数量相等的第3光分离部件，其用于将来自上述第2光分离部件的各个测量光进一步分成n个测量光即第1测量光～第n测量光；

参照光反射部件，其用于将来自上述多个第2光分离部件的参照光分别反射；

光路长度变化部件，其用于使从上述参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化；

与上述第2光分离部件数量相等的参照光传送部件，其用于将来自上述第2光分离部件的各个参照光传送到向上述参照光反射部件照射的位置；

第1测量光传送部件～第n测量光传送部件，其用于将来自上述第3光分离部件的上述第1测量光～第n测量光分别传送到向温度测量对象物的各测量点照射的测量光照射位置；

与上述第2光分离部件数量相等的光检测器，其用于对从上述温度测量对象物反射的上述第1测量光～第n测量光与从上述参照光反射部件反射的多个参照光之间的干涉进行测量，

该温度测量装置使上述第1测量光～第n测量光的从上述第3光分离部件到上述温度测量对象物的各个光路长度互不相同，

该温度测量方法利用一个上述光路长度变化部件使从上述参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化。