[发明专利]一种双面膜片微型气体富集器无效
| 申请号： | 201210078853.8 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102590398A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 杜晓松;吴泽;李臆;蒋亚东;邱栋 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N30/08 | 分类号： | G01N30/08 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰;杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双面 膜片 微型 气体 富集 | ||
【权利要求书】：
1.一种双面膜片微型气体富集器，其特征在于，具有两个硅片，每个硅片上设置有至少一个悬空膜片，每个悬空膜片上制备有薄膜加热器，两个硅片上下对准后键合形成至少一个微型气室，每个悬空膜片的内壁涂敷有吸附薄膜，在微型气室的侧壁开有气孔以形成多个微型气室之间的气流通道或整个富集器的进气口和出气口。
2.根据权利要求1所述的双面膜片微型气体富集器，其特征在于，所述悬空膜片为氮化硅薄膜或氮氧硅薄膜或二氧化硅薄膜或氮化硅/二氧化硅多层薄膜。
3.根据权利要求1所述的双面膜片微型气体富集器，其特征在于，所述薄膜加热器由蛇形金属薄膜或重掺多晶硅薄膜构成，金属薄膜的材料采用铂或钯或钨或钼或钽。
4.根据权利要求1所述的双面膜片微型气体富集器，其特征在于，所述吸附薄膜为聚合物或碳黑/聚合物复合材料或溶胶-凝胶无机氧化物。
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