[发明专利]真空感应化学气相沉积炉测温热电偶的转接器无效
| 申请号： | 201210078421.7 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN102620847A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 卢钢认;王强;崔鹏 | 申请（专利权）人： | 西安航空制动科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K1/14 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 慕安荣 |
| 地址： | 710072 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 感应 化学 沉积 测温 热电偶 转接 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空感应化学气相沉积炉测温热电偶的转接器，其特征在于：
a.包括导通螺杆和绝缘板；两个导通螺杆分别插入绝缘板上的两个螺栓安装孔内，并用螺母固定；绝缘板密封圈装入位于转接器绝缘板上的密封槽内；
b.导通螺杆有2个；该导通螺杆小直径端的外径与绝缘板中心的螺栓安装孔的孔径相同；在所述导通螺杆的两端的端面均有螺钉的安装孔，在所述导通螺杆的两端的圆周上有贯通的热电偶丝孔；所述螺钉的安装孔分别沿导通螺杆的轴线向导通螺杆内延伸，并与热电偶丝孔贯通；所述螺钉安装孔与热电偶丝孔的中心线相互垂直。
2.如权利要求1所述真空感应化学气相沉积炉测温热电偶的转接器，其特征在于，所述两个螺栓安装孔对称分布在绝缘板中心；在所述两个螺栓安装孔的外侧有密封圈的安装槽。
3.如权利要求1所述真空感应化学气相沉积炉测温热电偶的转接器，其特征在于，在导通螺杆密封圈套在导通螺杆的小直径端上，并与导通螺杆的大直径端的端面贴住。
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