[发明专利]光偏转器的驱动器及其设定方法

权利要求书

1.一种用于驱动光偏转器的驱动器，所述光偏转器包括：

反射镜；

可动框，其用于支承所述反射镜；

支承体，其包围所述可动框；以及

用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与所述第一组压电致动器交替的第二组压电致动器，

所述压电致动器在每个致动器处折返并且从所述支承体连接到所述可动框，每个所述压电致动器都与所述反射镜的一个轴平行，

所述驱动器将具有相同波形的第一原始锯齿波和第二原始锯齿波组合为第一锯齿波；

所述驱动器生成具有所述第一锯齿波的第一驱动电压并且将所述第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器，

所述驱动器生成具有与所述第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压并且将所述第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器，

所述第一原始锯齿波和所述第二原始锯齿波之间的相位差为预定值，以抑制取决于所述压电致动器的、所述反射镜关于它的所述轴的机械振动系统的固有频率与所述反射镜的频率的一致。

2.根据权利要求1所述的驱动器，其中，所述相位差被确定为

其中，f₀是所述第一原始锯齿波和所述第二原始锯齿波的频率；f_c是所述固有频率。

3.根据权利要求1所述的驱动器，其中，使仅将所述第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器而不施加所述第二驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度等于仅将所述第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器而不施加所述第一驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度。

4.一种设定用于驱动光偏转器的驱动数据的方法，所述光偏振器包括：

反射镜；

可动框，其用于支承所述反射镜；

支承体，其包围所述可动框；以及

用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与所述第一组压电致动器交替的第二组压电致动器，

所述压电致动器在每个致动器处折返并且从所述支承体连接到所述可动框，每个所述压电致动器都与所述反射镜的一个轴平行，

所述方法包括以下步骤：

设定对于分别用于所述第一组压电致动器和所述第二组压电致动器的第一驱动电压和第二驱动电压而言公共的周期；

指定上升时段与下降时段的比，所述上升时段和所述下降时段之和与所设定的周期相同，以选择形成具有所述上升时段和所述下降时段的第一原始锯齿波的第一原始驱动数据；

将所述第一原始驱动数据移位一个移位量以获得第二原始驱动数据，所述移位量与取决于所述压电致动器的、所述反射镜关于它的所述轴的机械振动系统的固有频率的半波长相对应；

将所述第一原始驱动数据和所述第二原始驱动数据组合为第一驱动数据，所述第一驱动数据形成了用于所述第一组压电致动器的第一锯齿波；以及

将所述第一驱动数据反转以获得第二驱动数据，所述第二驱动数据形成了用于所述第二组压电致动器的第二锯齿波。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述偏移量被确定为

其中，f₀是所述第一原始锯齿波和所述第二原始锯齿波的频率；f_c是所述固有频率。

6.根据权利要求4所述的方法，该方法还包括以下步骤：使仅将所述第一驱动数据的第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器而不施加所述第二驱动数据的第二驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度等于仅将所述第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器而不施加所述第一驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度。