[发明专利]一种激光输出能量调整方法有效
申请号: | 201210077435.7 | 申请日: | 2012-03-22 |
公开(公告)号: | CN102623881A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 樊仲维;邱基斯;唐熊忻 | 申请(专利权)人: | 北京国科世纪激光技术有限公司 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇 |
地址: | 100192 北京市海淀区西*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 输出 能量 调整 方法 | ||
1.一种激光输出能量调整方法,设定激光输出的目标能量值为B,所述能量调整方法包括下列步骤:
1)在设置在激光系统的光路中的液晶空间光调制器中写入原始图像,用能量计在激光系统的出口处测出所输出的激光的能量值A;
2)基于所述液晶空间光调制器的Gamma曲线,根据所述原始图像、出口处测出所输出的激光的能量值A、目标能量值B,计算出为得到目标能量值B所需输入液晶空间光调制器的调整图像的灰度值;
3)将调整图像写入到液晶空间光调制器中,得到调整后的激光输出能量。
2.根据权利要求1所述的激光输出能量调整方法,其特征在于,所述步骤1)中,入射所述液晶空间光调制器设置在光斑功率密度小于2.2MW/cm2。
3.根据权利要求2所述的激光输出能量调整方法,其特征在于,所述用于输出激光能量的激光系统中设置有激光放大器,所述步骤1)还包括:将所述液晶空间光调制器设置在激光放大器的光路中。
4.根据权利要求3所述的激光输出能量调整方法,其特征在于,所述激光放大器包括第一激光放大组件和第二激光放大组件,所述步骤1)还包括:将所述液晶空间光调制器设置在所述第一激光放大组件和所述第二激光放大组件之间。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光输出能量调整方法,其特征在于,所述步骤2)中,根据像素间距和输入所述液晶空间光调制器的激光的光斑形状和尺寸,得出原始图像所对应的像素点阵列,在将原始图像写入时,只对所得出的像素点阵列中的像素点进行写入操作。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的激光输出能量调整方法,其特征在于,所述步骤2)之前还包括校正步骤:校正所述液晶空间光调制器的Gamma曲线形状以使其线性化;
所述步骤2)包括下列子步骤:
21)根据目标能量值B,计算K值,K=B/A;
22)用K值分别乘以原始图像的每个像素点的灰度值,得到调整图像的灰度值。
7.根据权利要求6所述的激光输出能量调整方法,其特征在于,所述校正Gamma曲线形状包括下列步骤:
11)根据原始Gamma曲线确定所期望的线性化的Gamma曲线;
12)通过插值对原始Gamma曲线的一系列离散点进行拟合得到原始Gamma曲线的方程;
13)对于所期望的线性化的Gamma曲线中对应灰度值X间隔为1的每一个功率值Y,基于拟合所得到的原始Gamma曲线的方程求出该功率值Y所对应的新灰度值x,从而得到灰度值X与新灰度值x的对应关系。
8.根据权利要求7所述的激光输出能量调整方法,其特征在于,所述步骤13)中,将所得到的灰度值X与新灰度值x的对应关系写入驱动所述液晶空间光调制器的图像处理模块;在通过所述图像处理模块对液晶空间光调制器写入某一灰度图像时,该图像处理模块先将该灰度图像各像素点由旧灰度值X替换为新灰度值x,再将替换成新灰度值的图像写入液晶空间光调制器。
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