[发明专利]扩散炉有效
申请号: | 201210075320.4 | 申请日: | 2012-03-21 |
公开(公告)号: | CN103320868A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 吴学成;方海滨;姚承锡;潘之炜 | 申请(专利权)人: | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
主分类号: | C30B31/10 | 分类号: | C30B31/10 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 杜娟娟;王忠忠 |
地址: | 214028 江苏省无锡市国*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散 | ||
1.一种扩散炉,包括炉管、炉门、穿过炉门并延伸到所述炉管内的桨,其特征在于,所述扩散炉还包括设置在所述桨上的固定组件,所述固定组件包括第一固定部、弹性件和第二固定部,所述弹性件的一端固定设置在所述第一固定部而另一端则活动设置于所述炉门中,所述第一固定部固定设置于所述桨,所述第二固定部紧挨所述第一固定部固定设置于所述桨。
2.根据权利要求1所述的扩散炉,其特征在于,所述第二固定部包括第一卡持件、第二卡持件、以及在第一卡持件和第二卡持件对应地卡设在所述桨上时将所述第一卡持件和第二卡持件固定在所述桨的固定件。
3.根据权利要求2所述的扩散炉,其特征在于,所述第一卡持件为U型结构,在其第一凸出部和第二凸出部中分别形成有穿孔,所述第二卡持件为U型结构,在所述第二卡持件的第一凸出部中设置有与所述第一卡持件的第一凸出部相对应的开口,而在所述第二卡持件的第二凸出部中设置有与所述第一卡持件的第二凸出部相对应的开口。
4.根据权利要求3所述的扩散炉,其特征在于,所述固定件包括一组螺丝和相适配的一组螺母。
5.根据权利要求1到4中任意一项所述的扩散炉,其特征在于,所述弹性件包括连杆和套接在所述连杆上的弹簧,所述连杆的第一端部的横截面大于其第二端部的横截面。
6.根据权利要求5所述的扩散炉,其特征在于,所述炉门上设置有孔洞,所述孔洞的横截面小于所述连杆的第一端部的横截面但略大于所述连杆横截面,所述连杆穿过该孔洞从而活动设置在所述炉门中。
7.根据权利要求6所述的扩散炉,其特征在于,所述第一固定部上与所述炉门中的孔洞相对应的位置设置有用于容纳所述连杆的第二端部的槽。
8.根据权利要求4所述的扩散炉,其特征在于,在所述第一卡持件和第二卡持件与所述桨之间设置有特氟龙材料片。
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