[发明专利]加热器单元和热处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及加热器单元和热处理装置，特别涉及适合利用了辐射热的、通过较低温度区域(例如300℃以下)进行的热处理的加热器单元和热处理装置。

背景技术

为了通过热量使液体成分从附着有水、有机溶剂等的液滴或者由这些液体润湿的被处理件气化从而使被处理件干燥，使用具有热源的干燥装置。

在专利文献1中，作为使硅片上的水滴干燥的干燥装置，提出有一种装置，作为热源使用红外线灯，在晶片设置台和远红外线灯之间设置有材质(Si)与硅片相同的滤光器(filter)。滤光器具有下述功能：使能高效地使水滴干燥的波长的红外线透射，但是去除对硅片进行加热的波长的红外线。因此，可以仅加热液滴而不对硅片进行加热，从而可以使液滴快速地干燥。

专利文献1：日本专利公开公报特开平8-122232号

在记载于所述专利文献1中的干燥装置中，由于滤光器吸收红外线，所以滤光器本身具有热量，并对滤光器周围的空气进行加热。因此，在干燥时从被处理件产生可燃性的气体(N-甲基吡咯烷酮(在下面称为NMP)气体等)的情况下，存在气氛温度上升到燃点温度从而导致起火的问题。例如，在锂离子电池用电极中，由于作为制作涂敷于金属箔表面上的集电极的浆液时的溶剂有时采用NMP，所以存在起火的危险。

发明内容

鉴于所述的问题，本发明的目的在于可以在抑制气氛温度上升的同时高效地对被处理件进行热处理。

本发明提供一种加热器单元，其包括：热源，放射红外线；滤光器，与所述热源邻接设置，切断规定波长以上的红外线；以及透光部件，与所述滤光器相对，从所述滤光器分离开，设置在与所述热源相反的一侧，使透射过所述滤光器的红外线透射。

按照所述的构成，从热源放射出的红外线通过滤光器时，规定波长以上的光线被切断。另外，仅使透射过滤光器的红外线透射过透光部件。因此，如果将透光部件与被处理件相对设置，则可以通过透射过透光部件的红外线对被处理件进行辐射加热，从而可以对被处理件进行热处理(例如干燥)。此时，由于透光部件几乎没有吸收红外线，所以透光部件不会过热。因此，可以在抑制气氛温度的上升的同时高效地对被处理件进行加热处理。

另外，为了使从滤光器表面释放的热量不传递给透光部件，优选的是，所述滤光器和所述透光部件之间的空间被真空绝热。

作为所述滤光器和所述透光部件的材料，可以适合使用容易获得的石英玻璃。

此外，本发明还提供一种热处理装置，其包括：热处理炉，收容被处理件；热源，放射红外线；滤光器，与所述热源邻接设置，切断规定波长以上的红外线；以及透光部件，与所述滤光器相对，从所述滤光器分离开，设置在与所述热源相反的一侧，使透射过所述滤光器的红外线透射，并把所述滤光器和所述热处理炉内的气氛分开。

按照所述的构成，从热源放射出的红外线在通过滤光器时，规定波长以上的光线被切断。另外，仅使透射过滤光器的红外线透射过透光部件。因此，如果将透光部件与被处理件相对设置，则通过透射过透光部件的红外线对被处理件进行辐射加热，从而可以对被处理件进行热处理(例如干燥)。此时，由于透光部件几乎没有吸收红外线，所以透光部件不会过热。因此，可以在抑制气氛温度的上升的同时对被处理件进行加热处理。

此外，本发明的热处理装置还包括传热阻止机构，该传热阻止机构阻止从所述滤光器表面释放的热量传递给所述透光部件。按照该构成，可以不传递从滤光器表面释放的热量，有助于抑制气氛温度的上升。具体来说，通过将所述滤光器和所述透光部件之间的空间真空绝热，或设置对所述滤光器的表面进行冷却的冷却机构来实现阻止从所述滤光器表面释放的热量传递给所述透光部件。

另外，如果包括移动机构，该移动机构将所述被处理件移向所述热处理炉内的、与所述透光部件的红外线射出一侧相对的区域，则可以连续地对被处理件进行热处理，从而可以提高作业效率。

按照本发明，可以在抑制气氛温度上升的同时高效地对被处理件进行热处理。因此，即使在热处理时从被处理件产生可燃性的气体(NMP等)，气氛温度也不会上升到燃点温度，没有爆炸的危险性。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的热处理装置的简要结构图。

图2是本发明的其他实施方式的热处理装置的简要结构图。

图3是表示热源、滤光器和透光部件形成一体的加热器单元的一个例子的热处理装置的主要部分的剖视图。

附图标记说明

1…热处理炉

2…红外线加热器

3…滤光器