[发明专利]氯硅烷取样系统

说明书

技术领域

本发明涉及危险样品取样系统，具体涉及氯硅烷取样系统。

背景技术

随着改良西门子工艺技术的不断进步，加压还原技术普及使用，三氯氢硅还原生产多晶硅的过程中产生大量的副产物——二氯二氢硅，它的大量存在严重影响到多晶硅产品的质量及整个生产系统的安全，同时，高品质的二氯二氢硅又是光伏行业广泛使用的原料气体。因此，为了保证多晶硅产品的质量及整个多晶硅生产系统的安全，并从节约原料、降低生产成本角度考虑，充分回收并利用多晶硅生产过程中产生的大量二氯二氢硅，需要及时地对多晶硅生产系统中的二氯二氢硅进行取样分析。然而，由于二氯二氢硅具有很高的活性，即使与空气中微量的水也能迅速发生水解反应，放出大量的热并产生大量氢气，极易发生爆炸，使得二氯二氢硅如何安全、可靠的取样成为了一个难题。

专利号为200920313458.7的中国专利，公开了液态氯硅烷在线取样装置，该装置包括取样瓶、管线、三通阀和截止阀，所述取样瓶上至少有一个输入口和一个输出口，输入口一端连接有输入装置（用于样品输入），输出口一端连接有输出装置（用于样品输出），输入装置末端与调节阀压力较高的那一端的氯硅烷管道连接，输出装置末端与调节阀压力较低的那一端的氯硅烷管道连接；输入装置和输出装置通道上，分别至少连接有1个三通阀和一个截止阀。该取样装置存在如下缺点：（1）使用该取样装置对氯硅烷进行取样之前，无法对取样管路进行吹洗处理，三通阀与取样瓶之间连接的管路中残存少量空气，取样过程中可能会引发安全问题，特别是使用该取样装置对高活性的二氯二氢硅进行取样时，使二氯二氢硅发生水解反应，产生大量的热和氢气，容易引起爆炸事故的发生；（2）该取样装置取完样品后，无法对取样管路进行吹净，使样品残留在整个取样装置管路中，特别是二氯二氢硅样品残存在装置管路中，发生泄漏后，容易造成安全事故；（3）取样后，三通阀与取样瓶之间连接的管路中残存少量样品，特别是残存二氯二氢硅样品时，在取下取样瓶的过程中，容易引发安全事故；而且，这些样品暴露在空气中发生水解反应，生成二氧化硅附着在管路内壁，对样品成分和/或含量影响较大，导致对样品的分析误差较大，不能准确地反映多晶硅生产系统中氯硅烷成分和/或含量。

发明内容

本发明的发明目的在于：针对现有技术对氯硅烷进行取样时存在对样品成分和/或含量影响较大、易发生安全事故的问题，提供安全的、降低对样品成分和/或含量影响的氯硅烷取样系统。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

氯硅烷取样系统，包括取样器主体、样品输入装置、样品输出装置，所述取样器主体包括取样瓶、压盖、取样器输入口和取样器输出口，所述样品输入装置通过管线、进口二位三通阀与取样器输入口连通；所述样品输出装置通过管线、出口二位三通阀与取样器输出口连通，其特征在于：所述进口二位三通阀与样品输入装置之间还通过管线Ⅰ连接有保护气体输入装置，所述出口二位三通阀与样品输出装置之间还通过管线Ⅱ连接有保护气体输出装置；所述进口二位三通阀和所述出口二位三通阀之间还连接有取样瓶旁路管道。

为了使上述保护气体输入装置的结构简单，便于操作，上述保护气体输入装置包括阀门Ⅲ，上述进口二位三通阀与样品输入装置之间通过管线Ⅰ与阀门Ⅲ连接。

为了使上述保护气体输入装置往上述氯硅烷取样系统输入的保护气体能最大范围的吹净系统管路中残留的氯硅烷样品，上述样品输入装置包括阀门Ⅰ，上述管线Ⅰ输入端与上述阀门Ⅲ的输出口连接，上述管线Ⅰ的输出端与阀门Ⅰ的输出口连接。

为了使上述保护气体输出装置的结构简单，便于操作，上述保护气体输出装置包括阀门Ⅳ，上述出口二位三通阀与样品输出装置之间通过管线Ⅱ与阀门Ⅳ连接。

为了使上述保护气体输入装置往上述氯硅烷取样系统输入的保护气体能最大范围的吹净系统管路中残留的二氯二氢硅样品，上述样品输出装置包括阀门Ⅱ，上述管线Ⅱ输出端与上述阀门Ⅳ的输入口连接，上述管线Ⅱ输入端与阀门Ⅱ的输出口连接。

为了使上述取样系统取样更安全和准确，上述阀门Ⅰ、阀门Ⅱ、阀门Ⅲ和阀门Ⅳ均为针型阀。

为了便于分析设备的注射型进样器从取样瓶取样，上述压盖中心开有孔；为了使分析设备的注射型进样器从取样瓶取样时的密封性好，上述压盖与取样瓶的筒体之间设置有胶垫。

为了使上述取样系统更加环保，更加安全，上述样品输出装置管路终端连接有贮罐，上述保护气体输出装置管路终端连接有废气处理装置。

为了使上述氯硅烷取样系统更便于操作人员观察系统内情况，上述取样瓶优选设置有可供观察的视窗，优选石英玻璃视窗。