[发明专利]一种减振平台及基于该减振平台的光学检测系统

权利要求书

1.一种减振平台，包括可移动台面（2）和用于驱动可移动台面（2）运动的驱动系统，其特征在于，还包括减振底座（5），所述的可移动台面（2）的驱动系统设置于减振底座（5）上。

2.如权利要求1所述的减振平台，其特征在于，所述的驱动系统包括驱动可移动台面（2）进行横向运动的第一驱动系统（2）和驱动可移动台面（2）进行纵向运动的第二驱动系统（4）。

3.如权利要求2所述的减振平台，其特征在于，所述的第一驱动系统（2）和第二驱动系统（4）通过中间系统（3）相连接。

4.如权利要求1所述的减振平台，其特征在于，所述的减振底座（5）包括一支撑平台（51），所述支撑平台（51）的下方悬置至少一个下垂式抑振器（7），所述的下垂式抑振器（7）包括包装体（71）和容纳于包装体（71）中的减振粒状物（72），包装体（71）通过连接体（73）与支撑平台（51）连接。

5.如权利要求4所述的减振平台，其特征在于，减振底座（5）的支撑平台（51）固定设置于减振支架（6）上，所述的减振支架（6）由一组减振管状物（600）组成，所述的减振管状物（600）由封闭型管状物（601）和容纳在封闭型管状物（601）内的减振颗粒（602）组成。

6.如权利要求5所述的减振平台，所述的减振支架（6）上悬置至少一个下垂式抑振器（7），所述的下垂式抑振器（7）包括包装体（71）和容纳于包装体（71）中的粒状物（72），包装体（71）通过连接体（73）与减振管状物（600）连接。

7.如权利要求1-6任一项权利要求所述的减振平台，其特征在于，还包括设置于减振底座（5）上的减振臂（8），所述的减振臂（8）包括垂直固定于所述减振底座（5）的第一减振部（81），以及与第一减振部（82）连接并平行于所述移动台面（2）的第二减振部（82）。

8.如权利要求7所述的减振平台，其特征在于，所述的第二减振部（82）顶端设置有沿垂直于移动台面（2）方向往复运动的行走机构（10）。

9.如权利要求7所述的减振平台，其特征在于，所述的第一减振部（81）和第二减振部（82）为中空结构，其内壁设置有第一加强筋结构（802）。

10.如权利要求5所述的减振平台，其特征在于，所述的支撑平台（51）呈具有厚度的中空平板状结构，其内壁设置有第二加强筋结构（503）。

11.如权利要求2所述的减振平台，其特征在于，所述的第一驱动系统（1）包括与移动台面（2）相连接的至少一个振动抑制板（2010）。

12.一种包括权利要求1至11任一项权利要求所述减振平台的光学检测系统，其特征在于，所述的减振平台上固定设置有光学检测仪（1）。

13.如权利要求12所述的光学检测系统，其特征在于，所述的光学检测仪（1）通过行走机构（10）与减振臂（8）的第二减振部（82）连接。

14.如权利要求13所述的光学检测系统，其特征在于，还包括用于平衡光学检测仪（1）位置的重量平衡器（9），所述的重量平衡器（9）包括一重量平衡单元（901）和柔性索（903），柔性索（903）一端与重量平衡单元（901）连接，另一端与光学检测仪（1）连接。