[发明专利]一种防干扰的精密纳米位移触发器

权利要求书

1.一种防干扰的精密纳米位移触发器，其特征在于，所述触发器包括依次连接的控制系统、微电机、执行机构；

所述控制系统包括：

改正数据库，用以修正触发器出现的误差；所述控制系统从改正数据库调取预先测出的改正数，根据该改正数进行相应的控制；

传感器，用以检测触发器的移动，并将感受到信息传给控制台；

判别电路，用以在电流电压有突跳时采取中断信号，防止环境电磁干扰；

所述执行机构包括联轴节、螺杆螺母组合、滑台机构、移动发生器；所述联轴节的一端连接微电机，另一端连接所述螺杆螺母组合；所述螺杆螺母组合设置于滑台机构内，联轴节、移动发生器分别设置在滑台机构的两端；

所述控制系统控制微电机转动设定角度，通过联轴节、螺杆螺母组合转变成纳米量位移，实现物件的可控纳米量线性移动。

2.根据权利要求1所述的防干扰的精密纳米位移触发器，其特征在于：

所述螺杆螺母组合包括第一精密螺杆、第一精密螺母、第二精密螺杆、第二精密螺母；

所述第一精密螺杆采用英制螺纹每寸大于30牙，所述第二精密螺杆采用公知螺纹螺距小于0.8细牙。

3.根据权利要求2所述的防干扰的精密纳米位移触发器，其特征在于：

所述第一精密螺杆采用英制螺纹每寸80牙，所述第二精密螺杆采用公知螺纹螺距0.35细牙。

4.根据权利要求2所述的防干扰的精密纳米位移触发器，其特征在于：

所述第一精密螺母为移动螺母，所述第二精密螺母为固定螺母。

5.根据权利要求1所述的防干扰的精密纳米位移触发器，其特征在于：

所述滑台机构包括滑台、与该滑台配合的滑台导轨。

6.根据权利要求1所述的防干扰的精密纳米位移触发器，其特征在于：

所述微电机和第二精密螺母运动为反向，第二精密螺母的动量为两螺距的差值。

7.根据权利要求1所述的防干扰的精密纳米位移触发器，其特征在于：

由控制系统的控制软件发出控制信号，控制微电机转动设定角度；通过第一精密螺杆或/和第二精密螺杆转变成纳米量位移，实现文件的可控纳米量线性移动；每台移动发生器制成后，并用干涉仪进行定标，记录下工作过程中驱动脉冲和移动量间细微差数作为改进正数，进一步提高精度；所有传输导线均采用防电磁干扰，并用判别电路剔除干扰信号。