[发明专利]一种图形衬底的制作方法无效
| 申请号： | 201210069278.5 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN103311384A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 钟伟荣;熊威;赵常宁 | 申请（专利权）人： | 上海蓝宝光电材料有限公司;扬州隆耀光电科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201616*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 图形 衬底 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种图形衬底的制作方法，其特征在于，包括有以下步骤：
1)在衬底上利用旋转机涂布光刻胶，将平行四边形曝光单元拼接于衬底上；
2)将光刻板上的图形采用步进投影的方式曝光衬底上的光刻胶，曝光完成显影后，衬底上形成图案化光刻胶；
3)利用ICP干刻蚀系统，实施衬底图形化刻蚀，转移图案化光刻胶的图形至衬底上。
2.根据权利要求1所述的一种图形衬底的制作方法，其特征在于，所述衬底材质为蓝宝石、碳化硅、氮化镓、氧化锌或硅。
3.根据权利要求1所述的一种图形衬底的制作方法，其特征在于，所述衬底在曝光单元的边界无图形对接。
4.根据权利要求1所述的一种图形衬底的制作方法，其特征在于，形成在所述衬底上的图形是柱体、锥体或台体，其底部面积为0.03μm2～7μm2，图形间距为0.2μm～2μm。
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