[发明专利]一种无醇单晶硅制绒添加剂

权利要求书

1.一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于它的配方组份为：柠檬酸(或柠檬酸钠)、十二烷基苯磺酸钠和去离子水。

2.根据权利要求1所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于所述的柠檬酸(或柠檬酸钠)浓度在1.0wt％-5.0wt％之间，所述的十二烷基苯磺酸钠浓度在0.1wt％-5.0wt％之间。

3.根据权利要求1所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于其应用于单晶硅片的绒面制作时，不需要使用异丙醇或乙醇等醇类。

4.根据权利要求1所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于其应用于单晶硅片的绒面制作时，可以获得均匀、细小、密集的绒面金字塔，金字塔尺寸在1-5μm之间。

5.根据权利要求1所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于其应用于单晶硅片的绒面制作时，需要将其加入到硅片的腐蚀液中，其所占腐蚀液的体积比例为0.1v/v％-2.0v/v％之间。

6.根据权利要求5所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于其应用于单晶硅片的绒面制作时，硅片的腐蚀液为氢氧化钠或氢氧化钾的水溶液，而且氢氧化钠(钾)的浓度在0.5wt％-2.0wt％之间。

7.根据权利要求5所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于其应用于单晶硅片的绒面制作时，腐蚀液的温度在70℃-85℃之间，硅片的腐蚀时间在15-30分钟之间。

8.根据权利要求1所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于其应用于大批量单晶硅片的绒面制作时，每批制绒后，可以根据绒面金字塔的情况，适量补充或不补充。

9.根据权利要求1所述的一种无醇单晶硅制绒添加剂，其特征在于其应用于大批量单晶硅片的绒面制作时，每批制绒后，需要往腐蚀液中适量补充氢氧化钠或氢氧化钾。