[发明专利]无尘室微粒自动测量小车、自动测量系统及其测量方法

权利要求书

1.一种无尘室微粒自动测量小车，其特征在于包括：

自动导引装置，导引所述小车沿一既定路径行驶，所述自动导引装置包括一读取头，所述读取头识别预先设置的感应路径以及识别预先设置的多个测量点，所述小车根据所述感应路径进行行驶；

测量仪，所述测量仪测量所述测量点的微粒；

数据处理装置，所述测量仪将测量所得的微粒数据输送至所述数据处理装置，所述数据处理装置依据预设规则进行数据输出。

2.根据权利要求1的所述无尘室微粒自动测量小车，其特征在于，所述读取头为电磁感应识别器、激光识别器、磁铁-陀螺识别器或视觉引导识别器。

3.根据权利要求1的所述无尘室微粒自动测量小车，其特征在于，进一步包括一暂停装置，所述暂停装置在所述读取头识别到所述测量点或者在所述小车行驶到其预先存储的所述测量点时，进行暂停控制，所述测量仪进一步测量所述测量点的微粒。

4.根据权利要求1的所述无尘室微粒自动测量小车，其特征在于，所述数据处理装置预先存储测量点数据，所述测量点数据包括如下数据之一或多个：测量完成后主动进行下一次自动测量的时间间隔、发现异常数据时主动进行下一次自动测量的时间间隔、每间隔测量点之间的位置关系、合理的微粒数值区间。

5.根据权利要求4的所述无尘室微粒自动测量小车，其特征在于进一步包括一指令输入装置，所述指令输入装置接收开始自动测量的命令而启动所述小车进行自动测量作业。

6.根据权利要求5的所述无尘室微粒自动测量小车，其特征在于，所述数据处理装置预先存储数据异常作业指令，所述指令为，当测量数据正常时，依照所述自动测量的时间间隔而启动下一次自动测量作业，当测量数据异常时，则依据所述异常数据时主动进行下一次自动测量的时间间隔启动测量，或者依照所述输入装置的输入指令启动自动测量。

7.根据权利要求5的所述无尘室微粒自动测量小车，其特征在于进一步包括一蓄电池和自动充电装置，为小车提供运输动力。

8.一种无尘室微粒自动测量系统，其特征在于包括如权利要求1-7所述的无尘室微粒自动测量小车以及与所述读取头对应设置于被测量空间地面的感应条。

9.根据权利要求8的所述的无尘室微粒自动测量系统，其特征在于所述感应条的预设测量点位置的感应力大于周边位置。

10.一种无尘室微粒的自动测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

行驶步骤：通过电磁感应、激光识别、磁铁-陀螺识别或视觉引导识别感应识别预先设置的感应路径和测量点，并根据所述感应路径进行行驶；

测量步骤：当识别到所述测量点时，行驶暂停并测量所述测量点的微粒，或者当行驶到预先存储的所述测量点时，行驶暂停并测量所述测量点的微粒；

处理步骤：接收并处理多个微粒数据。