[发明专利]玻璃微粒堆叠体的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种向标靶上喷射并堆叠玻璃微粒的玻璃微粒堆叠体的制造方法。

背景技术

作为对玻璃微粒堆叠体进行制造的方法的一个例子，已知下述方法，即，与支撑在装置内并旋转的初始棒材相对而配置玻璃微粒合成用喷管，在使上述初始棒材沿上下往复运动的同时，使玻璃微粒向初始棒材的外周堆叠，从而制造玻璃微粒堆叠体。已知在该制造方法中，从设置在玻璃微粒堆叠体制造装置上的净化空气导入管向装置内导入净化空气，通过将上述装置内的压力调整为比装置外的压力高，从而防止外部气体向上述装置内混入，并且将该装置内的浮尘向装置外侧的收容容器内排出，与此同时，进行玻璃微粒的堆叠(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2003-160342号公报

发明内容

如上述所示，如果将净化空气向装置内导入，则可以提高装置内的净化度，抑制异物向玻璃微粒堆叠体上的附着及混入。但是，如果仅是向装置内导入净化空气，则在玻璃微粒堆叠时可能使玻璃微粒堆叠体局部地冷却，在玻璃微粒堆叠体上产生裂纹。另外，可能混入外部气体，在将玻璃微粒堆叠体烧结而形成的透明玻璃母材中残留异物或气泡。另外，如果是残留有异物或气泡的透明玻璃母材，则在拉制光纤时，可能由于拉丝的张力而使光纤断线。

本发明的目的在于，提供一种玻璃微粒堆叠体的制造方法，其不使玻璃微粒堆叠体产生裂纹，另外，不会残留异物或气泡，可以以低成本且使生产性提高的方式得到高品质的透明玻璃母材。

在可以解决上述课题的本发明的玻璃微粒堆叠体的制造方法中，向反应容器内的标靶上喷射并堆叠通过喷管的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒，

该制造方法的特征在于，

在所述喷管的附近，设置向所述反应容器内导入净化空气的净化空气导入口，并且在与所述净化空气导入口相反的一侧，设置将所述反应容器内的气体排出的排气口，

在向所述标靶上堆叠所述玻璃微粒时，从所述净化空气导入口，向所述反应容器内供给温度大于或等于10℃而小于或等于40℃、湿度大于或等于30％而小于或等于70％、大于或等于0.3μm的浮尘的量小于或等于100个/CF的净化空气。

在本发明的玻璃微粒堆叠体的制造方法中，优选通过对所述净化空气进行整流，从而将所述净化空气导入口处的所述净化空气的流速以使其变化幅度落在10％以内的方式进行均匀化，并向所述反应容器内供给。

发明的效果

根据本发明，通过将净化空气的供给条件设为温度大于或等于10℃而小于或等于40℃，湿度大于或等于30％而小于或等于70％，大于或等于0.3μm的浮尘的量小于或等于100个/CF，从而可以防止玻璃微粒堆叠体中裂纹的产生。另外，可以防止将玻璃微粒堆叠体烧结而形成的透明玻璃母材中异物或气泡的残留。由此，可以在基于将制造的玻璃微粒堆叠体烧结而得到的透明玻璃母材拉制光纤时，尽可能消除断线。并且，可以以低成本且提高生产性的方式制造光纤的母材。

附图说明

图1是表示利用本发明所涉及的玻璃微粒堆叠体的制造方法制造玻璃微粒堆叠体的装置的一个例子的概略剖面图。

图2是利用本发明所涉及的玻璃微粒堆叠体的制造方法制造玻璃微粒堆叠体的装置的其他例子的概略剖面图。

图3是利用本发明所涉及的玻璃微粒堆叠体的制造方法制造玻璃微粒堆叠体的装置的其他例子的概略剖面图。

图4是表示净化气体的供给条件中温度和湿度条件的调查结果的曲线图。

图5是表示净化气体的供给条件中浮尘量条件的调查结果的曲线图。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明所涉及的玻璃微粒堆叠体的制造方法的实施方式的例子进行说明。

如图1所示，玻璃微粒堆叠体的制造装置10A具有收容标靶15的反应容器16，该标靶15与上部支撑装置11的支撑棒12以及下部支撑装置13的支撑棒14连结，绕轴进行旋转。上部支撑装置11被上部烟囱17覆盖，下部支撑装置13被下部烟囱18覆盖。

在反应容器16中具有多根氧氢火焰喷管21，其将利用玻璃原料气体、可燃性气体以及助燃性气体，通过火焰水解反应生成的玻璃微粒向标靶15喷射。上述喷管21支撑在相对于标靶15自动进行后退等的移动机构(省略图示)上。