[发明专利]一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法无效
| 申请号： | 201210067954.5 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN102583395A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李汉;王波;张璐璐 | 申请（专利权）人： | 华陆工程科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 佘文英 |
| 地址： | 710075*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精制 三氯氢硅 精馏 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法，根据气相沉积法制造多晶硅时，从还原炉排出的气体是三氯氢硅及四氯化硅的混合物，将从还原炉中排出的气体冷却后得到的氯硅烷液作为供给液输送至精馏塔的中段，其特征是低沸点的三氯氢硅蒸汽从精馏塔(3)顶馏出，经压缩机(1)提温升压后，进入换热器(2)冷却至饱和气体，此气体热源用于加热塔釜再沸器(4)中的混合液，在再沸器(4)换热后的冷凝液一部分回流到精馏塔(3)顶部，剩余部分作为下游工段多晶硅的制造原料，四氯化硅则作为釜液从精馏塔(3)底部排出，完成一个精馏塔自循环开式热泵循环，热泵循环工质和再沸器(4)加热介质均为塔顶物料。
2.如权利要求1所述的精制三氯氢硅的热泵精馏方法，其特征是塔压控制在0.1～1barg之间，塔顶氯硅烷蒸汽压缩至5～10barg，用于提供充足热量，满足塔釜液汽化要求。
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