[发明专利]太阳能电池用透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池用透明导电薄膜，其特征在于包括衬底层和增透减反涂层；所述增透减反涂层为具有掺杂元素的SiO₂或ZnO或TiO₂的球型纳米粒子层；所述纳米粒子层为20～200nm，其表面具有粗糙结构。

2.根据权利要求1所述透明导电薄膜，其特征在于所述掺杂元素为金属氧化物、醋酸盐、硫酸盐、盐酸盐或醇盐。

3.根据权利要求2所述透明导电薄膜，其特征在于所述掺杂元素的比例为0.25～10.0mol％。

4.根据权利要求1～3中任一项权利要求所述透明导电薄膜，其特征在于所述导电薄膜的电阻小于1×10^-4Ω.cm。

5.根据权利要求1所述透明导电薄膜，其特征在于所述衬底层为硬质衬底或柔性衬底。

6.根据权利要求5所述透明导电薄膜，其特征在于所述硬质衬底为玻璃或不锈钢；所述柔性衬底为碳氢聚合物。

7.如权利要求1所述透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)制备溶胶：掺杂元素前驱体、去离子水、无水乙醇、催化剂、硅烷偶联剂按摩尔比1.0∶0-5.0∶20-200.0∶0.1-5.0∶0-10.0，于25-50℃下搅拌混合1-30小时进行水解、溶聚得到稳定的溶胶，再陈化后备用；

所述催化剂为氨水或盐酸；所述硅烷偶联剂为氨丙基三乙氧基硅烷或丁二烯基三乙氧基硅烷；

(2)步骤(1)陈化后的溶胶用提拉法或喷涂法在经清洗、干燥后的衬底上涂膜，涂膜形成后在20-120℃温度下进行干燥；

(3)固化处理：干燥处理后的衬底在200-500℃条件下固化处理1-180分钟，得到太阳能电池用透明导电薄膜。