[发明专利]真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳无效
| 申请号： | 201210066708.8 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102618838A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 阮佳龙;康进昌;罗讷纳;唐新荣 | 申请（专利权）人： | 昆山振昆纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215301 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 循环 冷却系统 冷却 外壳 | ||
【权利要求书】：
1. 真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，其特征在于，所述金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形；在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。
2. 根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm，上述加强圆槽槽深为12-15mm，所述金属罩体的厚度为2-5mm。
3. 根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的最大直径为24-136mm。
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