[发明专利]振动装置

权利要求书

1.一种振动装置，其使用于安装工件的工作台沿第1水平方向、与第1水平方向正交的第2水平方向、以及铅垂方向这正交的三个方向进行振动，其包括：

驱动器，其用于使上述工作台沿第1水平方向进行振动；

连结部件，其以使上述工作台相对于上述驱动器的沿第1水平方向振动的驱动部沿第2水平方向和铅垂方向滑动自如的方式将上述工作台与上述驱动部相连结，

上述连结部件包括：

第1水平线性导向件，其以使上述工作台相对于上述驱动部沿第1水平方向滑动自如的方式支承上述工作台；

铅垂线性导向件，其以使上述工作台相对于上述驱动部沿铅垂方向滑动自如的方式支承上述工作台；

中间工作台，其通过将其一表面固定于上述第1水平线性导向件，将其另一表面固定于上述铅垂线性导向件，从而将上述第1水平线性导向件和上述铅垂线性导向件连结起来，

上述铅垂线性导向件包括：

导轨，其安装于上述工作台的侧面，沿铅垂方向延伸；

滑块，其安装于上述中间工作台，与上述导轨卡合，

上述铅垂线性导向件以使上述工作台和上述中间工作台沿铅垂方向滑动自如的方式将上述工作台和上述中间工作台连结起来，

在上述工作台沿铅垂方向进行振动时，仅上述连结部件中的、上述铅垂线性导向件的沿铅垂方向延伸的导轨与上述工作台一起沿铅垂方向振动。

2.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

上述工作台包括：

平板部，

第1导轨支承部，其安装于该平板部的与上述连结部件相对的侧面，

上述铅垂线性导向件的导轨使长度方向朝着铅垂方向，安装于上述第1导轨支承部的与上述连结部件相对的面，

上述第1导轨支承部的铅垂方向尺寸在与上述平板部相对的面上具有与该平板部大致相同的大小，从上述平板部之侧朝着上述连结部件之侧逐渐变大，在与上述连结部件相对的面上具有与上述铅垂线性导向件的导轨的长度大致相同的大小，

上述铅垂线性导向件的导轨的全长被上述第1导轨支承部支承。

3.根据权利要求2所述的振动装置，其特征在于，

上述连结部件具有一对上述铅垂线性导向件，

上述一对铅垂线性导向件分别安装于上述第1导轨支承部的与上述连结部件相对的面的第2水平方向上的两端，

上述第1导轨支承部的第2水平方向尺寸在上述连结部件的与上述中间工作台相对的面上具有与该中间工作台大致相同的大小，从上述连结部件之侧朝着上述平板部之侧逐渐变大。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的振动装置，其特征在于，

该振动装置包括：

支承板，其用于支承上述驱动器；

第3线性导向件，其以使上述驱动部相对于上述支承板沿第1水平方向滑动自如的方式支承上述驱动部，

在上述支承板的与上述驱动部相对的面上安装有上述第3线性导向件的导轨，

在上述驱动部的与上述支承板相对的面上安装有用于与上述第3线性导向件的导轨卡合的滑块。

5.根据权利要求4所述的振动装置，其特征在于，

该振动装置具有一对上述第3线性导向件，

上述驱动部借助上述一对第3线性导向件被上述支承板自下方支承，

上述一对第3线性导向件的导轨分别使长度方向朝着第1水平方向，以规定间隔沿第2水平方向排列配置，

上述驱动部的与上述中间工作台相对的面上安装有上述第1水平线性导向件的导轨，

上述规定间隔大于上述第1水平线性导向件的导轨的长度。