[发明专利]一种激光冲击辅助微机电器件拆卸的方法

权利要求书

1.一种激光冲击辅助微机电器件拆卸的方法，包括如下步骤：

(1) 首先用酒精或丙酮清洗微机电器件表面；

(2) 把吸收层预涂到微机电器件表面，所述吸收层厚度为0.1-0.15 mm；

(3) 利用吸收层的粘性把微机电系统粘附到金属玻璃表面，吸收层的粘接强度大于激光冲击微机电器件背面产生的压力，使未被激光冲击的微机电器件不会从玻璃表面脱落；金属玻璃作为承载微机电器件的载体及激光冲击的约束层，应具有足够的强度不至被激光冲击波产生的瞬时高压冲破；

(4) 将载有微机电系统的金属玻璃定位于回收箱顶端，并且采用固定夹具将微机电器件与金属玻璃固定，使得激光冲击过程中微机电器件部分与金属玻璃不分离；

(5) 将激光束对准需要拆卸的微机电器件的背面，发射高能短脉冲激光冲击涂有吸收层的的微机电器件背面，在冲击过程中可采用单束或者多束激光同时冲击要拆除的微机电器件背面，使得冲击区域小于要拆除的微机电器件背面的面积；

(6) 利用激光冲击波产生的高压将需拆装的微机电器件喷射到回收箱中，把冲击卸下的微机电器件置于丙酮中浸泡，然后用超声清洗除去微机电器件表面的吸收层。

2.如权利要求1所述的一种激光冲击辅助微机电器件拆卸的方法，其特征在于：所述金属玻璃为(Gd-Tb)-Co-Al多元合金合成的块体非晶；金属玻璃的厚度应使得玻璃能承受不小于500MPa的压力。

3.如权利要求1所述的一种激光冲击辅助微机电器件拆卸的方法，其特征在于：所述吸收层的制备方法如下：将作为粘结剂的聚乙烯醇、直径为4~6微米的碳粉、醋酸乙酯、聚乙烯醇照质量比6:2:1:1的比例置于容器中，将涂料搅拌调匀，然后采用质量百分浓度为30%的氢氧化钠溶液调节涂层涂料的PH值为7，即得到吸收层。

4.如权利要求1所述的一种激光冲击辅助微机电器件拆卸的方法，其特征在于：进行拆卸的微机电器件形状有如下要求：沿激光束辐射方向微机电器件的尺寸不可呈减小趋势，能够确保微机电器件可以沿激光束方向顺利拆除。

5.如权利要求1所述的一种激光冲击辅助微机电器件拆卸的方法，其特征在于：所述的激光脉宽为10-20 ns，激光冲击时间为60-120 ns；能量为1-12焦耳。