[发明专利]制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率

权利要求书

1. 本发明主要目的是制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率，其主要是把TCO玻璃先在PECVD腔体内制作非晶硅薄膜，随后则进行本发明ZnO膜层的制作，其是利用Sputter将ZnO靶材进行溅镀，把ZnO镀膜在非晶硅薄膜上，最后再放回到PECVD腔体内制作微晶硅薄膜，以及背电极，即完成此制程。

2.本发明ZnO膜层制作在非晶硅与微晶硅薄膜中，制作出具有高穿透性、且有反射性、低折射率及高表面粗糙的ZnO薄膜，其主要目的是当光从TCO玻璃入射后，先到达非晶硅薄膜，然后再到达ZnO膜层时，除了光会透过ZnO穿透往微晶硅薄膜进入外，其光也可以在ZnO作折射与反射，藉此让更多的光能够在非晶硅薄膜作吸收，以能够提高非晶硅薄膜的Jsc，此外当光从背电极作反射时，其光也会在微晶硅与ZnO作折射，藉此方法可以当此试片在经过Light soaking之后，已有稳定的效率，且光能够停留在非晶硅与微晶硅较长时间，如此可以达到太阳能电池有较低的衰退，以便达到稳定及高的发电效率。

3. 根据权利要求1所述的制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率，其PECVD内的蝶阀可控制制程压力，当气体压力控制高压时，其蝶阀可将开度缩小，让气体可以充满腔体内达到高压以便能够进行制程。

4. 根据权利要求1所述的制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率，Showerhead分成三层设计，第一层与第二层为笔直状，但为交错设计，而第三层为漏斗状，可以将气体均匀扩散到TCO玻璃表面上，并由RF power 开启电浆进行制程。

5. 根据权利要求1所述的制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率，其Sputter是靠着Cryo pump将腔体抽至底压，其Cryo pump可将压力抽至10E-6torr以下，使其膜层表面乾净，且在溅镀时，其DC sputter将ZnO溅镀出来均匀的镀在非晶硅膜上。

6. 根据权利要求1所述的制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率，在PECVD均匀的完成非晶硅P.I.N薄膜时，利用本发明的ZnO镀膜可以提升光的折射性及穿透性，此外在ZnO完成后再镀上微晶硅P.I.N薄膜，更可以让光电流得到佳的吸收，此两种方式可以减少光衰退，且可以保持高的太阳能硅薄膜电池效率。