[发明专利]光电压测定装置有效

专利信息
申请号: 201210061663.5 申请日: 2012-03-09
公开(公告)号: CN102680763A 公开(公告)日: 2012-09-19
发明(设计)人: 高桥正雄 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: G01R19/00 分类号: G01R19/00;G01J1/04;G02B6/42
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 电压 测定 装置
【权利要求书】:

1.一种光电压测定装置,是反射型的光电压测定装置,

至少具备:

光源;

偏光光学系统,用来使该光源的光成为规定的偏光状态;

电光学元件,进行与施加的电压相应的光相位调制;

反射镜,使透过上述电光学元件的光反射;

测光器,对经上述反射鏡反射并透过上述电光学元件的透射光的某个轴的光强度进行检测;以及

受光部,对透过上述测光器的透射光进行检测,并对上述施加电压进行检测;

该光电压测定装置的特征在于,

对上述偏光光学系统的至少一部分使用光纤型的相位差板;

将该相位差板收纳在设置于规定的固定用部件的圆筒孔内。

2.如权利要求1所述的光电压测定装置,其特征在于,

作为上述测光器而使用光纤型的偏振波分离耦合器,利用该偏振波分离耦合器而分离为正交的2轴偏光,用一对单模光纤进行信号的传送,将其中1个与从上述光源向上述电光学元件输送光的光纤进行共用,并具有将来自上述光源的光与朝向上述受光部的光分离的光纤型的耦合器。

3.如权利要求1所述的光电压测定装置,其特征在于,

上述光纤型的相位差板与偏振面保持光纤进行熔接;

该偏振面保持光纤与上述固定用部件的圆筒孔之间被粘着固定。

4.如权利要求1或3所述的光电压测定装置,其特征在于,

设置于上述固定用部件的圆筒孔的、上述相位差板和偏振面保存光纤的熔接点附近设有空隙。

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