[发明专利]排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台

权利要求书

1.一种排气管道自动清洁装置，设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，所述第一管与所述涂胶显影机台的涂胶腔室连通，其特征在于，所述排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴和排液管，所述喷嘴设置于所述第一管的内壁，所述排液管连接于所述第一管的下方并与所述第一管连通。

2.如权利要求1所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述排液管中设有第一开关阀门。

3.如权利要求1所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述第二管中还设有一第二开关阀门。

4.如权利要求1所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述排液管中还设有一单向阀门。

5.如权利要求1所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述第一管竖向设置。

6.如权利要求5所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述第二管和第一管的夹角小于90度。

7.如权利要求1所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述喷嘴可选用一个或多个。

8.一种涂胶显影机台，包括设于涂胶腔室内的晶圆承载台以及与所述涂胶腔室连通的排气管道，其特征在于，所述排气管道上设有如权利要求1～7中任意一项所述的排气管道自动清洁装置。