[发明专利]多层压电扬声器振子的制造方法和多层压电扬声器振子

权利要求书

1.一种多层压电扬声器振子制造方法，其特征在于，所述方法包括：

步骤1：将压电陶瓷粉体进行湿法研磨，在所述研磨后的压电陶瓷粉体中加入粘合剂后采用流延成型工艺制得流延坯片，采用叠片烧结工艺对所述流延坯片进行加工制得单个陶瓷片；

步骤2：采用附渗电极的方式，在所述单个陶瓷片的双面制备电极，得到单个压电片，循环步骤1-步骤2制得N个压电片，其中所述N为大于3的奇数；

步骤3：采用胶粘工艺，将所述N个压电片按外部电极连接的方法逐层粘接得到N层压电片，将所述N层压电片加热固化后形成一体化，对所述一体化后的N层压电片进行极化；

其中将所述N个压电片按外部电极连接的方法逐层粘接得到N层压电片，包括：将第1层压电片的上面电极与所述N层压电片中偶数压电片的下面电极和所述N层压电片中奇数压电片的上面电极通过外侧的导电带连接，所述第1层压电片的下面电极与所述N个压电片的偶数压电片的上面电极和所述第一层压电片下面的压电片的奇数压电片的下面电极通过外侧的导电带连接，其中所述第1层压电片和所述第N层压电片的外侧面分别作为两个引出电极；

步骤4：将所述极化后的N层压电片和金属片粘接，制得N层压电扬声器振子。

2.根据权利要求1所述的多层压电扬声器振子制造方法，其特征在于，所述电极材料的介电常数为700～7000。

3.根据权利要求1所述的多层压电扬声器振子制造方法，其特征在于，所述流延坯片的厚度为10～200微米。

4.根据权利要求1所述的多层压电扬声器振子制造方法，其特征在于，所述单个陶瓷片的烧制温度为1000～1350℃。

5.根据权利要求1所述的多层压电扬声器振子制造方法，其特征在于，所述附渗电极的方式为丝印工艺或溅射工艺。

6.根据权利要求5所述的多层压电扬声器振子制造方法，其特征在于，所述丝印工艺中所用的电极材料为银或银和钯的合金材料，其中所述钯的重量比在所述合金材料中为0～30％，所述丝印工艺的烧银温度为500～850℃。

7.根据权利要求5所述的多层压电扬声器振子制造方法，其特征在于，所述溅射工艺中所用的电极材料为导电金属或所述导电金属的合金材料，所述溅射工艺中溅射电极后热处理的温度为25～600℃。

8.一种利用权利要求1所述的方法制造的多层压电扬声器振子，其特征在于，包括：N层压电片，其中所述N为大于3的奇数，所述N层压电片中的第1层压电片的上面电极与所述N层压电片中偶数压电片的下面电极和所述N层压电片中奇数压电片的上面电极通过外侧的导电带连接，所述第1层压电片的下面电极与所述N个压电片的偶数压电片的上面电极和所述第一层压电片下面的压电片的奇数压电片的下面电极通过外侧的导电带连接，其中所述第1层压电片和所述第N层压电片的外侧面分别作为两个引出电极，所述N层压电片和金属片粘接。

9.根据权利要求8所述的多层压电扬声器振子，其特征在于，所述电极材料的介电常数为700～7000。