[发明专利]化合物薄膜太阳能电池的制作方法及制作的太阳能电池无效

专利信息
申请号: 201210060125.4 申请日: 2012-03-09
公开(公告)号: CN103137784A 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 朱容贤;赖明旺;洪东亿 申请(专利权)人: 硕禾电子材料股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 何为;袁颖华
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 化合物 薄膜 太阳能电池 制作方法 制作
【权利要求书】:

1.一种化合物薄膜太阳能电池的制作方法,该太阳能电池的制作包括双渐层结构的吸收材料层的制作,其特征在于:所述吸收材料层是在真空腔体内于500-600℃以溅镀方式配合持续通入的硒蒸气进行制作,该吸收材料层的双渐层的制作过程包括如下三阶段:

第一阶段是于正规化功率0.35W±10%时导入铟,而于正规化功率0.5W±10%导入铜镓,且该铟与铜镓的掺杂浓度比例为3.5:5;

第二阶段是于正规化功率0.1W±10%时导入铜镓,而于正规化功率0.2W±10%时导入铜,并于正规化功率0.75W±10%时导入铟,且该铜镓、铜与铟的掺杂浓度比例为1:2:7.5;以及

第三阶段是于正规化功率0.35W±10%时导入铟,而于正规化功率0.5W±10%时导入铜镓,且该铟与铜镓的掺杂浓度比例为3.5:5。

2.如权利要求1所述的化合物薄膜太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述第一阶段占总制作过程时间的45%±20%。

3.如权利要求1所述的化合物薄膜太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述第二阶段占总制作过程时间的50%±20%。

4.如权利要求1所述的化合物薄膜太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述第三阶段占总制作过程时间的5%±5%。

5.一种化合物薄膜太阳能电池的制作方法,该太阳能电池的制作包括单层结构的吸收材料层的制作,其特征在于:所述吸收材料层是于真空腔体内在500-600℃以溅镀方式配合持续通入的硒蒸气进行制作,该吸收材料层的单层制作过程为单阶段制作:该阶段是于正规化功率0.35W±10%时导入铟,而于正规化功率0.5W±10%导入铜镓,且该铟与铜镓的掺杂浓度比例为3.5:5。

6.如权利要求5所述的化合物薄膜太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述单阶段占总制作过程时间的100%。

7.一种如权利要求1或5所述的化合物薄膜太阳能电池的制作方法制作的太阳能电池,其特征在于:所述太阳能电池包含有钠玻璃基板、设于钠玻璃基板上的钼材料层、设于钼材料层上的吸收材料层、设于吸收材料层上的硫化镉材料层、设于硫化镉材料层上的氧化锌材料层、及设于氧化锌材料层上的透明导电层。

8.一种如权利要求1或5所述的化合物薄膜太阳能电池的制作方法制作的太阳能电池,其特征在于:所述太阳能电池包含有不锈钢基板、设于不锈钢基板上的铬材料层、设于铬材料层上的钼钠材料层、设于钼钠材料层上的钼材料层、设于钼材料层上的吸收材料层、设于吸收材料层上的硫化镉材料层、设于硫化镉材料层上的氧化锌材料层、及设于氧化锌材料层上的透明导电层。

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