[发明专利]一种塔形层状氧化锌纳米棒及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种塔形层状氧化锌纳米棒的制备方法，该方法包括以下步骤：

(1)称取重量比为4～1∶1的氧化锌和碳粉，混合均匀后放入石英舟内，将硅片放置在石英舟的上方，使硅片与石英舟中氧化锌和碳粉的混合物之间的距离为1～5毫米，然后放入反应炉内；

(2)对反应炉抽真空，并向反应炉中通入氮气，维持反应炉中压强为20～100mbar；同时，使反应炉升温，反应炉的温度升至960～980℃后，停止通氮气；

(3)停止加热，继续对反应炉抽真空，并向反应炉中通入氧气，维持反应炉内压强为20～50mbar，其中，氧气穿过冷却水后进入反应炉内，氧气的通入时间为60～120min，反应结束后，即得目标产物。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述反应炉为水平气相管式炉；

优选地，步骤(1)中，所述石英舟和所述硅片放置在所述水平气相管式炉的中心处。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其中，步骤(2)中所述反应炉的升温速度为15～20℃/min。

4.根据权利要求2或3所述的制备方法，其中，相对于管径Ф为40mm和长度为1m的水平气相管式炉，步骤(2)中氮气的通入量为50～100sccm。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的制备方法，其中，相对于管径Ф为40mm和长度为1m的水平气相管式炉，步骤(3)中氧气的通入量为20～60sccm。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的制备方法，其中，步骤(1)中所述硅片的(111)、(100)或(001)面向下。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的制备方法，其中，所述步骤(3)还包括：反应结束后，停止通入氧气，使反应炉冷却至室温后，得到目标产物。

8.按照权利要求1至7中任一项所述的制备方法制得的塔形层状氧化锌纳米棒。

9.权利要求8所述的塔形层状氧化锌纳米棒在高灵敏度气体传感器或压力传感器中的应用。

10.权利要求8所述的塔形层状氧化锌纳米棒在场发射器中的应用。