[发明专利]一种微细电极的电火花电化学复合加工方法

权利要求书

1.一种微细电极的电火花电化学复合加工方法，其特征在于：所述电火花电化学复合加工方法包括如下步骤：

步骤一：机床初始化，对工具及电极进行装夹；

机床初始化，高频脉冲电源(8)固装在机床工作平台(4)上，高频脉冲电源(8)的频率为1MHz，电火花工作液槽(1)和电解液槽(5)由右至左依次设置在机床工作平台(4)上，反拷块(3)和工具阴极(6)分别设置在电火花工作液槽(1)和电解液槽(5)内，且反拷块(3)和工具阴极(6)均与高频脉冲电源(8)的阴极连接，电极(13)固定在机床主轴(12)的下端，电极(13)在加工时以3000r/min的速度进行旋转；

步骤二：对电极(13)的块电极进行电火花磨削加工；

反拷块(3)和电极(13)接触感知，设定反拷块(3)和电极(13)之间的加工间隙为10μm，进给量为0-500μm，电压为100～200V，电容为22～88KPF，电流为0.2～0.8A，由电火花工作液循环系统(2)提供的循环工作液流过，开始加工；

加工过程中通过短路检测系统(9)检测电极(13)与反拷块(3)之间的接触电压，短路检测系统(9)由计算机(10)控制，当电极(13)与反拷块(3)无间隙而发生短路时，则电极(13)回退一定距离重新加工；

步骤三：对电极(13)进行电解磨削精加工；

块电极电火花磨削法加工完毕之后，工具阴极(6)和电极(13)接触感知，设定工具阴极(6)与电极(13)之间的加工间隙为0-100μm，进给量为0-20μm，电源采用高频窄脉宽脉冲电源，加工电压在微细加工时为0-10V，电流为0-2A，脉宽和脉间均为10-500ns范围内且连续可调，在加工间隙处由电解液循环系统(7)提供的循环电解液流过，工作电流流过工具阴极(6)与电极(13)之间的加工间隙，电极(13)在上下方向做快速往复运动，即可对电极(13)进行电解磨削精加工；

步骤四：对电解磨削精加工后的电极(13)进行检验；

检测电极(13)是否达到设计的尺寸、圆柱度和表面质量，若没有达到设计的尺寸、圆柱度和表面质量，则重复步骤三，若达到设计的尺寸、圆柱度和表面质量，即完成加工。

2.根据权利要求1所述的一种微细电极的电火花电化学复合加工方法，其特征在于：步骤一和步骤三中的工具阴极(6)均为片状工具阴极，且片状工具阴极的上下底面附着一层绝缘膜(15)。

3.根据权利要求1或2所述的一种微细电极的电火花电化学复合加工方法，其特征在于：步骤四中通过CCD观测系统(14)进行检测电极(13)是否达到设计的尺寸、圆柱度和表面质量。