[发明专利]一种多元金属氧化物气敏传感器气敏元件及其制备方法有效
申请号: | 201210057850.6 | 申请日: | 2012-03-07 |
公开(公告)号: | CN102621198A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 杨尊先;郭太良;李福山;徐胜;张永爱;叶芸;李松;王灵婕 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | G01N27/30 | 分类号: | G01N27/30 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊 |
地址: | 350001 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多元 金属 氧化物 传感器 元件 及其 制备 方法 | ||
1.一种多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:所述的制备方法包括以下步骤:
采用电纺丝静电场组装方法在梳齿电极上沉积纳米丝状壳核结构材料;
采用低温水热负载方式在梳齿电极上的壳核结构外层包覆气敏薄膜源材料;
对步骤(2)的梳齿电极进行热处理合成气敏材料。
2.根据权利要求1所述的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:步骤(1)中采用双针头同轴电纺丝法;梳齿电极收集的材料为近单层排列的纳米丝状阵列;电纺丝静电组装过程中梳齿电极端采用加热辅助合成材料。
3.根据权利要求1或2所述的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:步骤(1)中纳米丝状壳核结构材料采用重油作为核心层原料,采用PAN、DMF、氯化锡和氯化锌混合液作为电纺丝外壳层原料。
4.根据权利要求1所述的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:步骤(2)中水热负载以氯化铜或硫酸铜为溶质的水溶液或稳定溶胶作为原料,原料中加入氨水作为沉淀剂。
5.根据权利要求1所述的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:步骤(3)热处理升温速率为1-5℃/分钟,保温温度为500-600℃。
6.根据权利要求1所述的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:所述的气敏传感器气敏元件以多元金属氧化物纳米丝/纳米管结构材料为气敏材料。
7.根据权利要求6所述的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:所述的多元金属氧化物纳米丝/纳米管结构材料直径为50-200纳米。
8.根据权利要求1所述的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法,其特征在于:通过该方法制备得到的梳齿电极及材料组成的元件直接装配成气敏传感器。
9.一种如权利要求1所述的制备方法制得的多元金属氧化物气敏传感器气敏元件。
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