[发明专利]压电元件及包括压电元件的压电致动器和振动波马达

权利要求书

1.一种压电元件，包括：

电极部分，所述电极部分包括层叠的压电层和电极层；和

非电极部分，所述非电极部分与所述电极部分接触，并且包括压电层，而没有电极层，

其中，所述非电极部分包括密度小于所述电极部分的压电层的密度的区域。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其中，所述压电层包括低温烧结添加剂，并且所述电极层含有银元素。

3.根据权利要求2所述的压电元件，其中，所述低温烧结添加剂含有铜元素。

4.根据权利要求1所述的压电元件，所述压电元件是通过在最高为940℃或更低的烘焙温度下进行烘焙而形成的。

5.根据权利要求1所述的压电元件，其中，所述非电极部分的密度为所述电极部分的密度的94％或更大到97％或更小。

6.根据权利要求1所述的压电元件，其中，所述非电极部分夹在具有不同极性的两个相邻电极部分之间。

7.一种压电致动器，包括根据权利要求1所述的压电元件。

8.一种振动波马达，包括：

根据权利要求1所述的压电元件；和

振动体，

其中，所述压电元件驱动所述振动体。