[发明专利]防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源

权利要求书

1.一种防着板支承部件，配置在等离子体生成容器内，所述等离子体生成容器在等离子体处理装置及离子束照射装置中使用，所述防着板支承部件的特征在于，

具有：主体部，至少一部分与所述等离子体生成容器的内壁抵接；以及端部，从所述主体部延伸设置，

并且在将所述防着板支承部件组装在所述等离子体生成容器上时，所述端部从所述等离子体生成容器的内壁离开。

2.根据权利要求1所述的防着板支承部件，其特征在于：所述端部沿着安装所述防着板支承部件的所述等离子体生成容器的内壁延伸设置。

3.根据权利要求1或2所述的防着板支承部件，其特征在于：所述防着板支承部件由非磁性体和磁性体构成。

4.一种离子源，在等离子体生成容器内生成等离子体，从该等离子体产生离子束，并使所述离子束向规定的方向行进，所述离子源的特征在于，

在所述等离子体生成容器内配置有多个如权利要求1或2所述的防着板支承部件，

在与所述离子束的行进方向大体垂直的平面上，所述防着板支承部件的端部沿着所述等离子体生成容器的内壁相互相对配置，并且在相对配置的所述防着板支承部件的端部之间配置有防着板。

5.一种离子源，在周围配置有多个永磁体的等离子体生成容器内生成等离子体，从该等离子体产生离子束，并使所述离子束向规定的方向行进，所述离子源的特征在于，

在所述等离子体生成容器内配置有多个如权利要求3所述的防着板支承部件，

在与所述离子束的行进方向大体垂直的平面上，所述防着板支承部件的端部沿着所述等离子体生成容器的内壁相互相对配置，在相对配置的所述防着板支承部件的端部之间配置有防着板，并且构成所述防着板支承部件的磁性体的至少一部分隔着所述等离子体生成容器的壁面与配置在所述等离子体生成容器周围的所述永磁体相对配置。