[发明专利]正交点电接触标准棒的微细电极直径在线测量方法无效
| 申请号： | 201210057437.X | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN102607398A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 佟浩;李勇;张龙 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/12 | 分类号： | G01B7/12 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 朱琨 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 交点 接触 标准 微细 电极 直径 在线 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.正交点电接触标准棒的微细电极直径在线测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)以在线制作好的微细电极(2)的轴向作为Z轴，将直径为D的标准棒(1)固定安装在XY平面上，XY平面是以X轴和Y轴为基础而确立的，X轴、Y轴和Z轴两两相互正交，从而确立了三维直角坐标系；
2)调节标准棒(1)轴线为X轴；
3)通过数控系统控制微细电极(2)与标准棒(1)沿着Y轴正负两个方向相对运动，进行两次电接触，两次电接触的电压范围均为12V～24V，当进行两次电接触时，微细电极(2)位于标准棒(1)的两侧而且微细电极(2)外径与标准棒(1)外径圆周点接触；
4)通过数控系统给出两次电接触的Y轴位置坐标Y1和Y2，则可测量出微细电极(2)径向尺寸为d＝|Y2-Y1|-D。
2.根据权利要求1所述的正交点电接触标准棒的微细电极直径在线测量方法，其特征在于，所述标准棒(1)的直径D的范围为0.3mm～0.7mm。
3.根据权利要求1所述的正交点电接触标准棒的微细电极直径在线测量方法，其特征在于，所述调节标准棒(1)轴线为X轴是指：使标准棒(1)轴线垂直于微细电极(2)轴向和标准棒运动方向所在平面。
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