[发明专利]一种相控阵超声聚焦流体振动抛光装置

权利要求书

1.一种相控阵超声聚焦流体振动抛光装置，其特征在于，该装置包括主控制器(1)、信号接收与采集模块(2)、超声发射模块(3)、超声相控阵换能器(4)和装有抛光液(6)的敞口容器(5)；主控制器(1)发出含有延时的控制信号给超声发射模块(3)，超声发射模块(3)驱动超声相控阵换能器(4)产生超声振动并在待加工件(7)上的待抛光点聚焦，经过待加工件(7)反射回来的声波再由同一个超声相控阵换能器(4)接收，超声相控阵换能器(4)接收的声波信号经过信号接收与采集模块(2)处理后传给主控制器(1)。

2.如权利要求1所述的一种相控阵超声聚焦流体振动抛光装置，其特征在于，所述抛光液(6)中的抛光颗粒为氧化硅、氧化铈、氧化铝或纳米金刚石。

3.如权利要求1所述的一种相控阵超声聚焦流体振动抛光装置，其特征在于，所述超声相控阵换能器(4)与待加工件(7)之间的距离为10mm～2m。

4.如权利要求1所述的一种相控阵超声聚焦流体振动抛光装置，其特征在于，所述超声相控阵换能器(4)发出的频率为15KHz～20MHz。

5.如权利要求1所述的一种相控阵超声聚焦流体振动抛光装置，其特征在于，所述超声相控阵换能器(4)的下平面与待加工件(7)的表面之间的夹角为0°～90°。

6.如权利要求1所述的一种相控阵超声聚焦流体振动抛光装置，其特征在于，所述超声相控阵换能器(4)为矩形面阵式换能器、圆形面阵式换能器或线阵式换能器。