[发明专利]双面发电MWT太阳能电池的制备方法无效
申请号: | 201210056939.0 | 申请日: | 2012-03-06 |
公开(公告)号: | CN102593257A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 陈迎乐;赵文超;王建明;王子谦;沈燕龙;李高非;胡志岩;熊景峰 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双面 发电 mwt 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种双面发电MWT太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括:
在硅片上表面形成PN结,在其下表面形成背场;
采用激光在所述硅片的预设位置处打孔;
采用丝网印刷工艺将腐蚀性材料印刷在激光所打孔的周围的预设范围内;
对所述腐蚀性材料进行烘干;
对所述硅片进行清洗。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述硅片进行清洗之后,还包括:
在所述PN结和背场上分别形成氮化硅膜;
在硅片上印刷过孔浆料、背面栅线和正面栅线,并烧结。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述腐蚀性材料进行烘干的温度为200~300℃。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述腐蚀性材料为含KOH的浆料。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述激光所打孔的周围的预设范围为:以激光所打的孔为圆心,半径为0.5~5mm的范围。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,激光所打孔的孔径为50~500μm。
7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述激光为固体或气体脉冲激光器,激光的波长为300~1600nm,其脉冲长度为10ps~300ns,重复频率为100~200KHz,激光光斑为5~100μm。
8.根据权利要求1~7任一项所述的方法,其特征在于,对所述硅片进行清洗的时间大于1min。
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