[发明专利]一种声表面波反射栅

说明书

所属技术领域

本发明涉及电子信息技术领域中无源电子标签，特别是涉及一种超高频小尺寸声表面波反射栅。

背景技术

现代通信的发展，要求提供低损耗的声表面波(surface acoustic wave，SAW)器件。相对于传统的声表面波器件，低损耗SAW器件的主要原理是利用栅条的反射，实现声波的单向传播。为了能在设计的过程中把栅条的反射考虑进去，必须对原有的设计方法进行必要的改进。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够工作在2.4GHz下，可以降低声表面波的传输损耗，并且提高反射栅的反射能力的声表面波反射栅。本发明的技术方案如下：

一种声表面波反射栅，包括多个反射栅电极，反射栅电极厚度为0.06μm，宽度为0.1μm。

作为优选实施方式，所述的声表面波反射栅，所述反射栅电极的长度为155μm，电极与电极的间距为0.1μm。

本发明提供的反射栅具有很强的反射能力和较低传输损耗，能很好的解决2.4GHz声表面波标签中反射栅的反射系数和传输损耗问题，提高标签的识别效率与精准度。

附图说明

图1本发明的反射栅尺寸结构示意图。

图2本发明的反射栅尺寸结构剖面图。

图3(a)和(b)分别为反射栅电极的S₁₁和S₁₂曲线。

图4反射系数与反射栅电极数量的关系曲线。

图5传输损耗与反射栅电极数量的关系曲线。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明做进一步说明。

反射栅是声表面波器件中最基本的器件结构，本发明采用的是开路反射栅模型，附图1和附图2为一组反射栅的尺寸结构图，图中，1为基板，2为反射栅的一个电极。反射栅的反射系数主要与反射栅的结构、电极的数量、厚度等参数有关，随着电极厚度的减小，声表面波的衰减系数会随之减小，另一方面，由于电极厚度的减小，开路栅的反射能力也随之减小，为了兼顾声表面波标签的衰减特性与反射特性，最终选取电极厚度为0.06μm，通过附图3所示的回波损耗S₁₁曲线和传输损耗S₂₁曲线，可知反射栅适用于频率为2.4GHz的声表面波。栅电极的数量也是影响反射系数的重要因素，随着反射栅电极数量的增加，反射系数会增大，但声表面波的损耗也会加大，如附图4、附图5所示。通过一系列优化，声表面波反射栅的栅电极的长、宽及厚度分别为155μm、0.1μm和0.06μm，如附图1和2所示，并且6个反射栅电极构成一组反射栅，此时，反射栅具有很强的反射能力和较低传输损耗，可以很好的应用于超高频声表面波标签中。

通过对反射器结构的优化，可以有效解决声表面波标签的反射能力和传输损耗问题，通过仿真优化最终确定声表面波反射器的栅电极的长、宽及厚度分别为155μm、0.1μm和0.06μm，电极与电极的间距为0.1μm，并且每6个反射栅电极构成一组反射栅，此时，反射栅具有很强的反射能力和较低传输损耗，可以很好的应用于2.4GHz声表面波标签中。