[发明专利]制造太阳能电池的方法及设备无效
申请号: | 201210053939.5 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN102694065A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 金材勋;柳真文;吴承润;宋寅泽;金兑映 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 太阳能电池 方法 设备 | ||
1.一种制造太阳能电池的方法,包括:
(a)制备其背面上形成有电极图案的背接触式太阳能电池基板;
(b)通过利用激光在所述基板的未形成有所述电极图案的正面上进行划线;以及
(c)沿着划痕将所述基板切割成各个电池,以形成太阳能电池。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,在所述步骤(b)中,在包括垂直于所述电极图案方向的至少一个方向上进行所述划线。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,在所述步骤(a)中,所制备的基板具有穿透钝化图案并交替形成在所述基板的所述背面上的正(+)电极图案和负(-)电极图案。
4.根据权利要求1所述的方法,还包括在所述步骤(b)之后所述步骤(c)之前检测缺陷,通过光致发光法检测出缺陷部分。
5.根据权利要求4所述的方法,还包括在所述检测缺陷的步骤之后,在被确定为具有缺陷的电池上做标记。
6.根据权利要求4所述的方法,其中,在所述步骤(c)之后,将切好的电池分为合格品和次品。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,用于所述划线的所述激光具有红外波段、可见光波段和紫外波段中的一种的波长。
8.根据权利要求2所述的方法,其中,用于所述划线的所述激光具有红外波段、可见光波段和紫外波段中的一种的波长。
9.根据权利要求4所述的方法,其中,用于所述划线的所述激光具有红外波段、可见光波段和紫外波段中的一种的波长。
10.一种制造太阳能电池的设备,包括:
控制单元,控制各个部件的操作;
工作台单元,根据所述控制单元的控制传送其背面上形成有电极图案的背接触式太阳能电池基板;
划线单元,通过将激光照射到由所述工作台单元传送的所述基板的未形成有所述电极图案的正面上来进行划线;以及
电池切割单元,通过所述工作台单元接受经划线的基板,并沿着划痕将所述基板切割成各个电池,以形成太阳能电池。
11.根据权利要求10所述的设备,其中,所述划线单元在包括垂直于所述电极图案方向的至少一个方向上进行所述划线。
12.根据权利要求10所述的设备,其中,所述划线单元包括空气喷嘴,用于去除所述基板表面上的外来物。
13.根据权利要求10所述的设备,其中,所述划线单元包括反射镜,用于反射从激光照射器出射的激光;以及聚焦透镜,用于将反射的激光聚焦。
14.根据权利要求10所述的设备,还包括光致发光单元,用于通过将激光照射到经划线的基板上来捕获发射图像,
其中,从由所述光致发光单元捕获的所述图像中读取并检测缺陷部分。
15.根据权利要求14所述的设备,其中,所述光致发光单元包括标记器,用于在含有检测到的缺陷部分的电池上做标记。
16.根据权利要求10所述的设备,其中,从所述划线单元出射的所述激光具有红外波段、可见光波段和紫外波段中的一种的波长。
17.根据权利要求11所述的设备,其中,从所述划线单元出射的所述激光具有红外波段、可见光波段和紫外波段中的一种的波长。
18.根据权利要求14所述的设备,其中,从所述划线单元出射的所述激光具有红外波段、可见光波段和紫外波段中的一种的波长。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的