[发明专利]一种大面积石墨烯的转移方法无效
| 申请号： | 201210053514.4 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102592973A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 许士才;满宝元;姜守振;刘杰;杨诚;刘玫;范秀伟 | 申请（专利权）人： | 山东师范大学 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/00;C23C16/01 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王立晓 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 石墨 转移 方法 | ||
1.一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，包括步骤如下：
(1)对金属基底上的石墨烯薄膜喷涂金属的腐蚀溶液或是将金属基底及石墨烯薄膜蘸取少量金属的腐蚀溶液；
(2)然后将金属基底及石墨烯薄膜放入去离子水中浸泡，洗去残余的腐蚀溶液；
(3)将金属基底及石墨烯薄膜浸入水中，使与石墨烯薄膜接触的一侧有一定厚度的水，放入冷冻室使水全部结冰；
(4)将与石墨烯薄膜接触的一侧的冰分离，得到石墨烯冰层；
(5)将石墨烯冰层放在目标基底上，冰融化后就实现了石墨烯的转移。
2.根据权利要求1所述的一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，所述的金属基底为能用化学气相沉积方法催化生长石墨烯的金属。
3.根据权利要求2所述的一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，所述的金属基底为铜箔、镍箔、铜膜或镍膜。
4.根据权利要求1所述的一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，所述的金属的腐蚀溶液为FeCl3溶液、Fe(NO3)3溶液，溶液浓度范围为0.1-2mol/L。
5.根据权利要求1所述的一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，步骤(2)所述的浸泡时间为5-10分钟。
6.根据权利要求1所述的一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，当金属基底两侧均有石墨烯薄膜时，步骤(3)中金属基底及石墨烯薄膜浸入水中，使与石墨烯薄膜接触的两侧都有一定厚度的水。
7.根据权利要求1或6所述的一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，所述的与石墨烯薄膜接触的一侧水的厚度范围为2-50mm。
8.根据权利要求1所述的一种大面积石墨烯的转移方法，其特征是，步骤(5)所述的目标基底为金属基底，半导体基底，氧化物基底或有机物基底。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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