[发明专利]一种磁控管阴极及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种磁控管阴极，按重量比计，其由以下成分组成：

铼0.01％～3％；钍0.5％～2％；余量为钨。

2.根据权利要求1所述的磁控管阴极，其特征在于，按重量比计，铼0.01％～2％；优选地，铼0.01％～0.5％；更优选地，铼0.01％～0.4％。

3.根据权利要求1或2所述的磁控管阴极，其特征在于，按重量比计，钍0.7％～1％。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁控管阴极的制备方法，该制备方法包括以下步骤：

(1)按上述重量比，将铼渣和硝酸钍粉末分别置于去离子水中，搅拌使其均匀分散于去离子水中形成悬浮液；

(2)分别将步骤(1)获得的铼渣和硝酸钍粉末悬浮液逐步喷洒到仲钨酸铵粉末中，同时进行搅拌分别使铼渣、硝酸钍粉末与仲钨酸铵粉末混合均匀；

(3)将步骤(2)获得的混合物干燥后进行压制，然后进行高温烧结或锤熔，并进一步锻制成棒料。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括以下步骤：

(4)将步骤(3)获得的棒料进行拉丝得到磁控管阴极线材。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述磁控管阴极线材的线径为0.4～0.6mm。

7.根据权利要求5或6所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)还包括将磁控管阴极线材制成弹簧状。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述弹簧状磁控管阴极线材的弹簧外径为3-5mm。

9.一种微波发生管，其包含根据权利要求1至3中任一项所述的磁控管阴极。

10.一种微波炉磁控管，其包含根据权利要求1至3中任一项所述的磁控管阴极。