[发明专利]基于光强探测的高灵敏度传感系统

权利要求书

1.一种基于光强探测的高灵敏度传感系统，包括：

一光源；

一第一3dB光分束器，其输入端与光源连接，用于光的分束；

一第一光功率计，其输入端与第一3dB光分束器的第一输出端连接；

一传感芯片，其输入端与第一3dB光分束器的第二输出端连接；

一第二光功率计，其输入端与传感芯片的输出端连接；

一处理器，其输入端与第一光功率计和第二光功率计的输出端连接，用于对数据的处理、分析。

2.根据权利要求1所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中传感芯片包括：

一第二3dB光分束器，包括一输入波导、一第一输出波导和一第二输出波导；

一传感微腔，其一侧与第二3dB光分束器的第一输出波导耦合；

一参考微腔，其一侧与第二3dB光分束器的第二输出波导耦合；

一2×1光合束器，包括一第一光输入波导、一第二光输入波导和一光输出波导，所述2×1光合束器的第一光输入波导与传感微腔的另一侧耦合，第二光输入波导与参考微腔的另一侧耦合；

一样品槽，用于容置传感微腔。

3.根据权利要求1所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中第一3dB光分束器是光纤3dB光分束器或光波导3dB光分束器。

4.根据权利要求2所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中第二3dB光分束器和2×1光合束器是Y分支型、多模干涉型或者定向耦合型。

5.根据权利要求2所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中传感微腔和参考微腔是微环、微盘、微球或光子晶体微腔。

6.根据权利要求2所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中传感微腔与第二3dB光分束器的第一输出波导的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式为横向耦合或者垂直耦合。

7.根据权利要求2所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中传感微腔与2×1光合束器的第一光输入波导的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式为横向耦合或者垂直耦合。

8.根据权利要求2所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中参考微腔与第二3dB光分束器的第二输出波导的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式为横向耦合或者垂直耦合。

9.根据权利要求2所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中参考微腔与2×1光合束器的第二光输入波导的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式为横向耦合或者垂直耦合。

10.根据权利要求1-9任一项所述的基于光强探测的高灵敏度传感系统，其中用于制作该传感芯片的材料是SOI、有机物或者硅基二氧化硅。