[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
申请号: | 201210052479.4 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN102969285A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 古川修 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/29;H01L21/56 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李今子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,具备:
底板;
安装基板,设置在所述底板之上;
半导体元件,设置在所述安装基板之上;
保持器,设置在所述安装基板的上方;
保持器端子,由所述保持器保持并与所述半导体元件电连接;
壳体,沿着所述安装基板的侧面包围所述安装基板,沿着所述保持器的侧面包围所述保持器;
第一密封层,在由所述壳体包围的空间内覆盖所述安装基板以及所述半导体元件;以及
第二密封层,在由所述壳体包围的所述空间内设置在所述第一密封层之上,与所述第一密封层相比硬度高。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述第一密封层以及所述第二密封层包括硅胶。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,还具备:保持器用树脂层,该保持器用树脂层与所述壳体、所述保持器的侧面的至少一部分、以及所述保持器的下表面相接,与所述第二密封层相比硬度高,
在所述第二密封层与所述保持器用树脂层之间存在空隙。
4.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于,所述保持器用树脂层包括环氧系树脂。
5.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,还具备:控制电路基板,该控制电路基板设置在所述安装基板与所述保持器之间,包括控制所述半导体元件的控制元件,被所述第二密封层所包围。
6.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述第二密封层的针入度比所述第一密封层的针入度低。
7.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述第一密封层的针入度大于等于100且小于等于500,所述第二密封层的针入度大于等于10且小于100。
8.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述半导体元件包括功率用晶闸管、功率用二极管以及功率用晶体管中的至少任一个。
9.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述底板包括包含AlSiC的复合材料板、以及金属板中的至少任一个。
10.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述安装基板包括陶瓷板。
11.一种半导体装置,其特征在于,具备:
底板;
安装基板,设置在所述底板之上;
半导体元件,设置在所述安装基板之上;
保持器,设置在所述安装基板的上方;
保持器端子,由所述保持器保持并与所述半导体元件电连接;
壳体,沿着所述安装基板的侧面包围所述安装基板,沿着所述保持器的侧面包围所述保持器;
第一密封层,在由所述壳体包围的空间内覆盖所述安装基板以及所述半导体元件;以及
第二密封层,在由所述壳体包围的所述空间内设置在所述第一密封层之上,与所述第一密封层相比难以变形。
12.根据权利要求11所述的半导体装置,其特征在于,所述第一密封层包括硅油。
13.根据权利要求11所述的半导体装置,其特征在于,还具备:保持器用树脂层,该保持器用树脂层与所述壳体、所述保持器的侧面的至少一部分、以及所述保持器的下表面相接,与所述第二密封层相比硬度高,
在所述第二密封层与所述保持器用树脂层之间存在空隙。
14.根据权利要求13所述的半导体装置,其特征在于,所述保持器用树脂层包括环氧系树脂。
15.根据权利要求11所述的半导体装置,其特征在于,还具备:控制电路基板,该控制电路基板设置在所述安装基板与所述保持器之间,包括控制所述半导体元件的控制元件,被所述第二密封层所包围。
16.根据权利要求11所述的半导体装置,其特征在于,所述第二密封层的针入度比所述第一密封层的针入度低。
17.根据权利要求11所述的半导体装置,其特征在于,所述第一密封层为液体。
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