[发明专利]书写式导电体表面电化学刻蚀方法及其装置无效
| 申请号： | 201210052352.2 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102605415A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 胡志华;曾美华;陈安;邢永强 | 申请（专利权）人： | 迅力光能（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C25F7/00 | 分类号： | C25F7/00;C25F3/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 李艳 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 书写 导电 体表 电化学 刻蚀 方法 及其 装置 | ||
1.一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于：采用流量控制装置控制电解液的流量和速度，电解液与电源的阳极端相连，导电体与电源的阴极端相连，电解液与导电体表面接触时形成电化学反应。
2.根据权利要求1所述的书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于：导电体包括但不限于ITO、ZnO、SnO2等透明导电氧化物。
3.根据权利要求1所述的书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于：电解液包括但不限于氯化铝、硫酸铝、氯化铁水溶液中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于：所述电解液通过纤维针头与导电体表面相接触。
5.一种根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于：它包括：
电解液容器，该电解液容器的内腔中存储有电解液，电解液与第一电极相连，第一电极与电源正极相连，该内腔具有一出口和与出口相对的另一出口；
纤维针头，设置在所述电解液容器内腔的出口处，所述纤维针头的下端部伸出所述电解液容器与导电体表面相接触或脱离；
流量控制装置，所述流量控制装置与电解液容器的内腔的另一出口相连通，用于控制电解液从纤维针头中溢出的流量和速度；
导电体以及第二电极，所述导电体与第二电极相连，所述第二电极与所述第一电极对应相反；
驱动装置，用于使得电解液容器相对导电体移动以带动针头与导电体的表面脱离或接触。
6.根据权利要求3所述的书写式导电体表面电化学刻蚀装置，其特征在于：流量控制装置为气体压力控制装置，气体压力控制装置通过调整压力将电解液稳定释出。
7.根据权利要求3所述的书写式导电体表面电化学刻蚀装置，其特征在于：所述驱动装置可带动电解液容器相对导电体表面平移移动，移动轨迹可设定。
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