[发明专利]玻璃板的研磨方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃板的研磨方法。

背景技术

专利文献1、2等公开了采用通过使熔融玻璃流入熔融锡浴上来制造玻璃板的浮法的玻璃板的制造装置。并且，以往还公知有将采用浮法制造的玻璃板研磨成液晶显示器或等离子体显示器等FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用玻璃基板的研磨装置。

采用浮法制造的玻璃板，在其表面存在微小的凹凸或波纹(在3～30mm程度的间距内，最大高度为0.3μm程度的波纹)，而这种微小的凹凸或波纹是导致图像变形或色相不均性的原因。因此，需要通过研磨将微小的凹凸或波纹除去。

专利文献3中公开的研磨装置，在安装于研磨工具保持平台的研磨工具上，抵接被玻璃保持部件保持的玻璃板，并且使研磨工具保持平台和玻璃保持部件相对地移动，将玻璃板的微小的凹凸或波纹除去。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2008-239370号公报

专利文献2：日本国特开2009-46366号公报

专利文献3：WO 2007/020859号公报

发明内容

发明解决的课题

现有技术尚未充分揭示如下的研磨方法：将采用浮法制造的玻璃板、即表面存在微小的凹凸或波纹的玻璃板研磨成适于作为图像中无变形或色相不均性的FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明有鉴于此而做出，其目的在于提供玻璃板的研磨方法，将采用浮法制造的玻璃板研磨成适于作为FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明为了实现上述目的，提供一种玻璃板的研磨方法，以通过使熔融玻璃流入熔融锡浴上来制造的玻璃板，且厚度为0.7mm以下、1边长度为1000mm以上、杨氏模量为65GPa以上的玻璃板为研磨对象的玻璃板，

通过玻璃保持部件保持上述玻璃板的非研磨面，通过研磨工具研磨该玻璃板的研磨面上存在的高度0.3μm以下的波纹而使该波纹降低为0.05μm以下，从而制造平板显示器用玻璃基板。

采用浮法制造的玻璃板，且作为FPD用玻璃基板使用的、厚度为0.7mm以下、1边长度为1000mm以上、杨氏模量为65GPa以上的玻璃板，其表面(研磨面)上在3～30mm程度的间距内存在最大高度0.3μm程度的波纹。因此，在本发明中，利用研磨工具对玻璃板的研磨面上存在的高度0.3μm以下的波纹进行研磨，使该波纹的最大高度降低为0.05μm以下。由此，能够制造适于作为图像中不会产生变形或色相不均性的FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明的上述研磨工具，优选A硬度为20以上，D硬度为99以下，厚度为1.0～2.5mm，厚度分布为±0.05mm以内。

根据本发明，如上所述规定研磨工具的硬度、厚度、厚度分布，从而能够将采用浮法制造的玻璃板研磨成更加适于作为FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明的上述玻璃保持部件，优选压缩率为10～70％，压缩弹性模量为70～98，A硬度为2～20，厚度为0.3～2.0mm，厚度分布为±0.05mm以内。

根据本发明，如上所述规定玻璃保持部件的压缩率、压缩弹性模量、硬度、厚度、厚度分布，从而能够将采用浮法制造的玻璃板研磨成更加适于作为FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明的上述玻璃保持部件，优选经由密封件安装于玻璃保持平台，该玻璃保持平台的评价长度为30mm时的波纹度曲线的最大截面高度为20μm以下。

根据本发明，如上所述规定玻璃保持平台的波纹度曲线的最大截面高度，从而能够通过玻璃保持部件良好地吸收玻璃板的非研磨面上存在的波纹，因此能够将采用浮法制造的玻璃板研磨成更加适于作为FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明的上述研磨工具，优选经由密封件安装于研磨工具保持平台，该研磨工具保持平台的评价长度为30mm时的截面曲线的最大截面高度为100μm以下。

根据本发明，如上所述规定研磨工具保持平台的截面曲线的最大截面高度，从而能够抑制研磨工具的表面的波纹，因此能够将采用浮法制造的玻璃板研磨成更加适于作为FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明的上述研磨工具，优选被以一定的载荷相对于上述玻璃板按压，该载荷的偏差为平均载荷的10％以下。

根据本发明，如上所述规定研磨工具相对于玻璃板的载荷，从而能够将采用浮法制造的玻璃板研磨成适于作为FPD用玻璃基板的玻璃板。

本发明的上述研磨工具，优选在修整时，使修整用砂轮和以包围该修整用砂轮的方式配置的无研磨能力的框架抵接于上述研磨工具来进行修整。