[发明专利]裸片拾取装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有剥离台的裸片拾取装置，该剥离台用于通过吸嘴拾取粘贴到切割片上的裸片时，对于要通过吸嘴拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离。

背景技术

在剥离粘贴到切割片上的裸片的方式中，包括顶起剥离方式和滑动剥离方式。在顶起剥离方式中，如专利文献1(特开2010-129949号公报)所述，对从粘贴了棋盘格状切割的晶圆的可伸缩的切割片上的晶圆分割的裸片，用吸嘴吸附并拾取时，对切割片中的要吸附的裸片的粘贴部分，从其正下方用顶起筒顶起，将该裸片的粘贴部分从切割片部分剥离的同时，用吸嘴吸附该裸片，从切割片拾取。

但是，当裸片为较薄易破裂的裸片时，在上述顶起剥离方式中，裸片可能破裂，因此使用滑动剥离方式。在滑动剥离方式中，如专利文献2(日本特许第3209736号公报)所述，具有：拾取粘贴了多个裸片的切割片上的裸片的吸嘴(collet)；具有片吸引孔的剥离台，通过吸嘴的衬垫吸附保持切割片上的裸片，且从该裸片的粘贴部分的近前侧使剥离台的片吸引孔滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离。

专利文献1：日本特开2010-129949号公报

专利文献2：日本特许3209736号公报

发明内容

而在进行片剥离时，为使较薄的裸片不破裂，需要对片剥离的裸片的大致整个面用吸嘴的衬垫吸附保持，因此一般情况下用多孔质材料形成吸嘴的衬垫。但是，多孔质衬垫的孔较细微，所以相对从生产设备的负压源提供给吸嘴的负压(真空压力)，多孔质衬垫的吸附力大幅减弱。尤其是对于片剥离开始部分，需要较大的吸附力，所以片剥离开始部分的吸附力不足，可能无法确保稳定的片剥离性能。

因此，本发明要解决的课题是，提供一种可确保稳定的片剥离性能的裸片拾取装置。

为解决上述课题，技术方案1涉及的发明是一种裸片拾取装置，具有：吸嘴，拾取粘贴了切割晶圆而形成的多个裸片的切割片上的裸片；剥离台，对通过上述吸嘴拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离，通过上述吸嘴的衬垫吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而对该裸片的粘贴部分进行片剥离，其特征在于，上述吸嘴的衬垫形成为使片剥离开始侧的吸附力大于片剥离结束侧的吸附力。在本发明中，考虑到在吸嘴的衬垫中的片剥离开始部分需要较大的吸附力这一情况，以使片剥离开始侧的吸附力相对较大的方式形成吸嘴的衬垫，因此可充分确保片剥离开始部分的吸附力，确保稳定的片剥离性能。

具体如技术方案2所述，吸嘴的衬垫由多孔质部件或多孔状部件形成，孔相对片剥离开始侧的吸附面的面积比(气孔率)、大于孔相对片剥离结束侧的吸附面的面积比。这是因为，孔相对吸附面的面积比越大，吸附力越大。

进一步，考虑到随着裸片的片剥离量的增加，片剥离所需的吸附力变小这一情况，如技术方案3所述，吸嘴的衬垫形成为使吸附力从片剥离开始侧向片剥离结束侧逐渐或阶段性地变小。

并且，如技术方案4所述，在吸嘴的衬垫上，沿着片剥离开始侧的吸附面的端部形成狭缝状的吸附孔。这样一来，通过狭缝状的吸附孔可切实增大片剥离开始侧的吸附面的端部的吸附力。但狭缝状的吸附孔的滑动方向的宽度过大时，因其吸附力而使裸片本身拉入到吸附孔内而弯曲，裸片可能破裂，所以需要限制狭缝状的吸附孔使其滑动方向的宽度不过大。

并且，如技术方案5所述，剥离台上形成片吸引孔，该片吸引孔用于从切割片的下表面侧吸引切割片而对该裸片的粘贴部分进行片剥离。这样一来，沿着切割片的下表面使剥离台滑动，从而通过来自该剥离台的片吸引孔的吸引力从下方吸引切割片，可对裸片的粘贴部分进行片剥离。

并且，如技术方案6所述，片吸引孔形成为与要进行片剥离的裸片的粘贴部分对应的大小，在该片吸引孔的滑动方向侧的边缘部，形成用于使该裸片的粘贴部分浮起而进行片剥离的凸起部。这样一来，通过在剥离台的片吸引孔的滑动方向侧的边缘部形成的凸起部，可使裸片的粘贴部分浮起的同时进行片剥离，可进一步提高片剥离性能。

附图说明

图1是本发明的实施例1中的裸片拾取装置的透视图。

图2是设置了实施例1的裸片拾取装置的部件安装机的透视图。

图3是表示实施例1中的裸片的片剥离的滑动动作开始时的状态(省略切割片的图示)的透视图。

图4是表示实施例1中的裸片的片剥离的滑动动作结束时的状态(省略切割片的图示)的透视图。

图5是说明实施例1中的切割片上的各裸片和剥离台的裸片吸引孔的位置关系的平面图。