[发明专利]一种光束线同步光位置在线诊断系统

权利要求书

1.一种光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述系统包括：

联动控制模块；

通过网络与所述联动控制模块连接的运动控制模块，其根据所述联动控制模块输出的控制信号，控制外围丝扫描设备依次移动至预设数量的位置点；

光电流采集模块，其根据所述联动控制模块输出的控制信号采集所述丝扫描设备所在的当前位置点的光电流数据；以及

通过网络分别与所述光电流采集模块以及联动控制模块连接的操作终端，其一方面分析所述光电流采集模块采集的光电流数据，并根据分析结果诊断同步光位置，另一方面控制所述联动控制模块的启动和停止。

2.根据权利要求1所述的光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述光电流采集模块包括：

电流电压转换器，其感应并放大所述丝扫描设备所在的当前位置点的光电流信号；

与所述电流电压转化器连接的模数转换器，其将所述光电流信号转换为所述光电流数据；以及

与所述模数转换器连接的远程输入输出控制器，其将所述光电流数据传输至所述网络。

3.根据权利要求1或2所述的光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述联动控制模块包括数据记录单元，其获取并记录所述光电流采集模块输出的光电流数据。

4.根据权利要求1或2所述的光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述操作终端包括用于诊断同步光位置的数据分析模块以及控制所述联动控制模块的启停控制模块。

5.根据权利要求4所述的光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述操作终端还包括与所述数据分析模块连接的图形生成模块，其根据所述分析结果生成光强分布图。

6.根据权利要求5所述的光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述操作终端还包括参数设置模块，其向所述联动控制模块输出运动控制参数。

7.根据权利要求5或6所述的光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述操作终端还包括用于存储所述位置点的信息以及相应的光电流数据的存储器。

8.根据权利要求7所述的光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述网络为以太网。